Thuyền wafer siliccacon cacbua

Đằng sau mỗi quá trình nhiệt độ cao trong sản xuất wafer là một người chơi im lặng nhưng quan trọng: thuyền wafer. Là chất mang lõi tiếp xúc trực tiếp với wafer silicon trong quá trình xử lý wafer, vật liệu, độ ổn định và độ sạch của nó có liên quan trực tiếp đến năng suất chip cuối cùng và sự ổn định của quá trình. Trong số các vật liệu vận chuyển khác nhau,Carbide silicon (sic)Thuyền đang dần thay thế các giải pháp thạch anh truyền thống, trở thành giải pháp ưa thích cho các quy trình nâng cao và thiết bị cao cấp.

Tại sao thuyền wafer sic?

Với sự tiến bộ của các nút quy trình dưới 7nm và sự mở rộng của các cửa sổ quy trình nhiệt độ cao, các thuyền wafer thạch anh truyền thống đang ngày càng phải vật lộn về độ ổn định nhiệt, kiểm soát hạt và quản lý tuổi thọ.

Tuy nhiên, những chiếc thuyền wafer silicon cacbua đang dần đạt được sự nổi bật do những lợi thế sau:

1.Stable ở nhiệt độ cao:

Họ cung cấp nhiệt độ hoạt động dài hạn 1350-1600 ° C, dễ dàng xử lý các quy trình chính như CVD, khuếch tán và ủ. Ngay cả việc tiếp xúc ngắn với nhiệt độ 1800 ° C cho thấy không làm mềm hoặc biến dạng, làm cho chúng phù hợp với các thiết bị cao cấp như lò cacbua silicon tinh thể đơn.

2. Mở rộng và ổn định sốc nhiệt cao:

Với hệ số giãn nở nhiệt thấp, chúng có thể chịu được nhiệt độ nhanh chóng tăng và giảm, giảm thiểu nứt cấu trúc do ứng suất nhiệt. Họ duy trì hình thái và hiệu suất tuyệt vời trong khí quyển nhiệt độ cao, phức tạp (như hydro, nitơ, amoniac và fluoride).

3. Bề mặt Cleanan và ô nhiễm cực thấp:

Độ tinh khiết vật chất cao với tạp chất kim loại tối thiểu. Độ nhám bề mặt thấp, ngăn ngừa ô nhiễm thứ cấp của các tấm silicon; Kiểm soát độ nhám bề mặt tuyệt vời, với RA dưới 0,1μm, ngăn chặn sự rụng hạt và đáp ứng các yêu cầu phòng sạch của các quy trình nâng cao;

4. Đúc một mảnh, các cấu trúc thuyền wafer được gia công chính xác có thể được hình thành trực tiếp thông qua không có đúcIn 3D, loại bỏ sự cần thiết của khuôn, cải thiện đáng kể hiệu quả tùy chỉnh; Kết hợp với gia công năm trục và công nghệ cắt dây, răng của thuyền không bị vùi, ngăn chặn các vết trầy xước trên các tấm wafer và đảm bảo xử lý tự động trơn tru;

5. Sức mạnh cao và cuộc sống lâu dài: 

Một chiếc thuyền duy nhất tự hào có sức mạnh chịu tải cao và có thể đồng thời hỗ trợ hàng chục đến hàng trăm chiếc wafer 12 inch. So với thuyền thạch anh truyền thống, tuổi thọ trung bình của thuyền dài hơn 5-10 lần, giảm tần suất thay đổi thiết bị và tổng chi phí sở hữu.

Kịch bản ứng dụng

Khả năng thích ứng rộng củaThuyền wafer silicon cacbuaMở rộng ứng dụng của họ ngoài trường bán dẫn đến nhiều kịch bản quy trình nhiệt độ cao, bao gồm vật liệu năng lượng mới, sản xuất LED và nghiên cứu năng lượng hạt nhân.

Ngành công nghiệp bán dẫn

Nó phù hợp cho các quá trình chính như quá trình oxy hóa, khuếch tán, lắng đọng CVD và cấy ion, làm cho nó trở thành một chất mang nhiệt độ cao không thể thiếu cho các dòng quá trình dưới 7NM.

Công nghiệp quang điện

Trong các công nghệ pin mới nổi như Topcon và HJT, thuyền wafer được sử dụng trong các quy trình lò nhiệt độ cao như LPCVD và ủ, giúp cải thiện hiệu quả năng lượng và tỷ lệ chuyển đổi.

Chất bán dẫn thế hệ thứ ba

Đối với các quá trình tăng trưởng epiticular của GaN và SIC trong đèn LED, chúng hỗ trợ chất nền sapphire hoặc silicon cacbua. Họ chịu được các khí ăn mòn như NH₃ và HCl, hỗ trợ sản xuất các thiết bị năng lượng tần số cao.

Vật liệu năng lượng mới & nền tảng nhiệt độ cao

Hỗ trợ phản ứng thiêu kết của các vật liệu catốt pin lithium và xử lý nhiệt của các vật liệu công nghiệp hạt nhân, kết hợp khả năng chống nhiệt, chống ăn mòn và độ sạch.

Semicorex cung cấp độ tinh khiết caoThuyền wafer sic tùy chỉnh. Nếu bạn có bất kỳ yêu cầu hoặc cần chi tiết bổ sung, xin vui lòng không ngần ngại liên lạc với chúng tôi.

Liên hệ với điện thoại # +86-13567891907

Email: sales@semiaorex.com