Cánh tay nạp wafer

Cánh tay tải wafer được chế tạo từ vật liệu gốm alumina có độ tinh khiết cao, đảm bảo mức độ sạch vượt trội, điều này rất quan trọng cho sản xuất chất bán dẫn. Độ tinh khiết cao của gốm giúp giảm thiểu nguy cơ ô nhiễm, điều này rất quan trọng để duy trì tính toàn vẹn của tấm bán dẫn trong quá trình xử lý. Độ sạch vượt trội này rất cần thiết trong những môi trường mà ngay cả những tạp chất nhỏ nhất cũng có thể gây ảnh hưởng xấu đáng kể đến chất lượng sản phẩm cuối cùng.

Một trong những tính năng nổi bật của Cánh tay tải wafer của Semicorex là khả năng sản xuất chính xác, đạt được dung sai tốt tới ±0,001mm. Mức độ chính xác về kích thước này đảm bảo cánh tay có thể xử lý các tấm bán dẫn với độ chính xác vượt trội, giảm nguy cơ xử lý sai hoặc sai lệch trong các giai đoạn xử lý quan trọng. Kích thước chính xác cũng đảm bảo khả năng tương thích với thiết bị hiện có, tạo điều kiện tích hợp liền mạch vào các cơ sở sản xuất hiện tại.

Gốm Alumina được sử dụng trong Cánh tay tải wafer có khả năng chịu nhiệt độ cao vượt trội, chịu được nhiệt độ lên tới 1600°C. Đặc tính này là công cụ cho các ứng dụng trong môi trường nhiệt độ cao, đảm bảo cánh tay duy trì hình dạng và tính toàn vẹn cấu trúc dưới áp lực nhiệt. Độ lệch giảm ở nhiệt độ cao giúp nâng cao độ tin cậy và độ chính xác của việc xử lý tấm bán dẫn, ngay cả trong những điều kiện nhiệt đòi hỏi khắt khe nhất.

Trong các quy trình bán dẫn như làm sạch và khắc, Cánh tay tải wafer thể hiện khả năng chống ăn mòn vượt trội trước các chất lỏng hóa học khác nhau. Vật liệu gốm alumina vẫn ổn định và duy trì các đặc tính hiệu suất khi tiếp xúc với môi trường hóa chất mạnh. Khả năng chống ăn mòn này giúp kéo dài tuổi thọ hoạt động của cánh tay, giảm nhu cầu thay thế và bảo trì thường xuyên, từ đó tăng hiệu quả tổng thể.

Chất lượng bề mặt của Cánh tay tải wafer được kiểm soát tỉ mỉ, đạt độ nhám trung bình (Ra) là 0,1 và không bị nhiễm bẩn và các hạt kim loại. Chất lượng bề mặt cao này đảm bảo rằng các tấm bán dẫn được xử lý một cách tinh tế, ngăn ngừa trầy xước, nhiễm bẩn và các khuyết tật bề mặt khác có thể ảnh hưởng đến chức năng của tấm bán dẫn. Duy trì bề mặt nguyên sơ là rất quan trọng đối với các quy trình đòi hỏi độ chính xác và sạch sẽ tối đa.

Vật liệu gốm alumina có khả năng chống mài mòn vượt xa các vật liệu truyền thống như thép và thép mạ crôm. Khả năng chống mài mòn đặc biệt này đảm bảo rằng Cánh tay tải wafer có thể chịu đựng được việc sử dụng kéo dài mà không bị suy giảm đáng kể, duy trì độ chính xác và hiệu quả theo thời gian. Độ mài mòn giảm cũng góp phần giảm chi phí vận hành bằng cách giảm thiểu nhu cầu thay thế bộ phận thường xuyên.

Mặc dù có độ bền cao nhưng Cánh tay tải wafer rất nhẹ, giúp giảm tải cho thiết bị một cách hiệu quả. Việc giảm trọng lượng này không chỉ cải thiện hiệu quả tổng thể của hệ thống xử lý tấm bán dẫn mà còn kéo dài tuổi thọ của máy móc liên quan. Trọng lượng nhẹ hơn tạo điều kiện cho các chuyển động mượt mà và nhanh hơn, nâng cao thông lượng và độ tin cậy của quy trình xử lý tấm bán dẫn.