TEFLON CASSETTES

Các băng teflon semicorex là các chất mang wafer hiệu suất cao được thiết kế đặc biệt để sử dụng trong các môi trường hóa học đòi hỏi về độ tinh khiết, kháng hóa học và độ ổn định nhiệt là rất cần thiết. Được làm từ polytetrafluoroetylen (PTFE) độ tinh khiết cao, các băng này được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn, khắc ướt, làm sạch hóa học và các ứng dụng khác tiếp xúc với các hóa chất rất tích cực là thông thường. Bản chất không phản ứng của chúng làm cho chúng lý tưởng để xử lý các chất nền tinh tế như wafer silicon, tấm kính và các thành phần chính xác khác mà không đưa ô nhiễm hoặc hạt vào quá trình.

Trong các quá trình sản xuất bán dẫn khác nhau, như in thạch bản, khắc và cấy ion, băng cassette đóng vai trò vận chuyển và chuyển các tấm wafer giữa các thiết bị khác nhau. Các thiết bị quy trình khác nhau có thể có các yêu cầu giao diện khác nhau đối với băng cassette để đảm bảo rằng các chất mang wafer có thể được nhận và đặt chính xác.

Từ quan điểm của vật liệu và thiết kế, các vật liệu chịu nhiệt, có tính chất cơ học tuyệt vời, độ ổn định kích thước và bền, chống tĩnh điện, thấp hơn, lượng mưa thấp và có thể tái chế thường được sử dụng. Các kích thước wafer khác nhau, các nút xử lý và quy trình sử dụng các vật liệu khác nhau. Các vật liệu chung là PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP, v.v.

Các băng Teflon cung cấp khả năng kháng hóa chất vượt trội trong môi trường sử dụng axit hydrofluoric, axit nitric, axit sunfuric và các chất ăn mòn mạnh khác. Không giống như các vật liệu thông thường như polypropylen hoặc thép không gỉ, PTFE không suy giảm; không sưng lên; Lò rỉ không có chất trong phòng tắm hóa học khắc nghiệt. Do đó, hiệu suất được đảm bảo trong thời gian dài và do đó độ tin cậy của băng cassette đối với các dây chuyền sản xuất thông lượng cao và môi trường siêu sạch. Sự mạnh mẽ của nó có nghĩa là nhu cầu bảo trì và tần suất thay thế thấp hơn, do đó giảm chi phí vận hành dài hạn.

Tầm Teflon thể hiện sự ổn định nhiệt rất cao. Chúng có thể dễ dàng chịu được nhiệt độ từ -200 ° C đến +260 ° C, áp dụng cho các quá trình đông lạnh cũng như cho các quá trình nhiệt độ cao. Thậm chí được đặt trong các buồng sấy nóng hoặc bồn tắm lạnh lạnh, các băng không mất sức mạnh cấu trúc của chúng; Họ không bị cong vênh hoặc nứt, đảm bảo rằng các tấm wafer sẽ được giữ an toàn trong quá trình xử lý. Khả năng phục hồi nhiệt độ này đóng góp đáng kể vào việc xử lý kiểm soát và tính đồng nhất, điều này rất quan trọng đối với chế tạo bán dẫn và MEMS.

Một đặc điểm quan trọng không kém của băng Teflon là bề mặt không dính trơ. PTFE vốn không cho phép hấp phụ các hạt và dư lượng hóa học, do đó làm giảm nguy cơ ô nhiễm trong môi trường phòng sạch. Điều này phải được kết hợp với một kết thúc bề mặt mịn cho phép rửa sạch dễ dàng và sấy khô nhanh chóng, do đó kết quả sạch hơn và kết quả thời gian chu kỳ nhanh hơn. Trong quá trình xử lý chất bán dẫn, trong đó các khiếm khuyết có thể được gây ra bởi các chất gây ô nhiễm vi mô, mức độ sạch và độ trơ hóa học này là bắt buộc.

Mỗi băng được thực hiện chính xác để dung sai kích thước chặt chẽ, đảm bảo sự liên kết và khoảng cách wafer ổn định trong khi được di chuyển và đặt trong chất lỏng. Hình thức được thiết kế dễ dàng của chúng giúp dòng hóa chất nhanh chóng và thoát nước, giúp tăng tốc độ trao đổi hóa học và cải thiện việc làm sạch hoặc khắc tính đồng nhất trên bề mặt wafer.  Các băng cassette có sẵn trong các kích thước tiêu chuẩn cho các tấm 4 inch, 6 inch và 8 inch, với các tùy chọn tùy chỉnh có sẵn để phù hợp với kích thước cơ chất cụ thể, số lượng khe và yêu cầu xử lý.

Được thiết kế để tương thích với băng ghế ướt tự động và hệ thống xử lý wafer robot, các băng Teflon tích hợp dễ dàng vào hầu hết các thiết lập sản xuất bán dẫn. Việc xây dựng mạnh mẽ của họ và kết thúc cấp phòng sạch đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của môi trường được chứng nhận ISO. Tất cả các băng cassette đều trải qua kiểm tra kỹ lưỡng và được làm sạch trước trong nước cực kỳ mạnh để đáp ứng các tiêu chuẩn độ sạch cần thiết để sản xuất điện tử vi điện tử tiên tiến. Giấy chứng nhận phù hợp và truy xuất nguồn gốc vật liệu đầy đủ có thể được cung cấp để đảm bảo tuân thủ các giao thức đảm bảo chất lượng.