Chuyên môn than chì là một loại than chì nhân tạo được xử lý. Nó là một vật liệu quan trọng không thể thiếu trong tất cả các khía cạnh của quá trình sản xuất bán dẫn và quang điện, bao gồm tăng trưởng tinh thể, cấy ion, epitaxy, v.v.
1. Silicon cacbua (sic) Tăng trưởng tinh thể
Carbide silicon, như một vật liệu bán dẫn thế hệ thứ ba, được sử dụng rộng rãi trong các phương tiện năng lượng mới, thông tin liên lạc 5G và các trường khác. Trong quá trình tăng trưởng SIC Crystal 6 inch và 8 inch, than chì đẳng hướng chủ yếu được sử dụng để sản xuất các thành phần chính sau:
GROTITE CRUMBULE: Điều này có thể được sử dụng để tổng hợp nguyên liệu bột SIC và cũng hỗ trợ phát triển tinh thể ở nhiệt độ cao. Độ tinh khiết cao, điện trở nhiệt độ cao và khả năng chống sốc nhiệt đảm bảo môi trường tăng trưởng tinh thể ổn định.
Máy sưởi than chì: Điều này cung cấp phân phối nhiệt đồng đều, đảm bảo sự phát triển tinh thể SIC chất lượng cao.
Ống cách nhiệt: Điều này duy trì tính đồng nhất nhiệt độ trong lò tăng trưởng tinh thể và giảm mất nhiệt.
2. Cấy ion
Cấy ion là một quá trình quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn. Chân than isostatic chủ yếu được sử dụng để sản xuất các thành phần sau trong ION Impsters:
Getter than chì: Điều này hấp thụ các ion tạp chất trong chùm ion, đảm bảo độ tinh khiết của ion.
Vòng tập trung than chì: Điều này tập trung chùm ion, cải thiện độ chính xác và hiệu quả của ION. Khay chất nền than chì: Được sử dụng để hỗ trợ các tấm silicon và duy trì sự ổn định và nhất quán trong quá trình cấy ion.
3. Quá trình epitaxy
Quá trình epitax là một bước quan trọng trong sản xuất thiết bị bán dẫn. Nhất than chì được ép chủ yếu được sử dụng để sản xuất các thành phần sau trong các lò nung epitax:
Khay than chì và các chất nhạy cảm: Được sử dụng để hỗ trợ các tấm silicon, cung cấp hỗ trợ ổn định và dẫn nhiệt đồng đều trong quá trình epitaxy.
4. Các ứng dụng sản xuất bán dẫn khác
Lá than được ép đặc biệt cũng được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng sản xuất bán dẫn sau:
Quá trình khắc: Được sử dụng để sản xuất các điện cực than chì và các thành phần bảo vệ cho các bản khắc. Khả năng chống ăn mòn và độ tinh khiết cao của nó đảm bảo sự ổn định và độ chính xác trong quá trình khắc.
Lắng đọng hơi hóa học (CVD): Được sử dụng để sản xuất khay than chì và lò sưởi trong lò CVD. Độ dẫn nhiệt cao và điện trở nhiệt độ cao của nó đảm bảo lắng đọng màng mỏng đồng đều.
Thử nghiệm bao bì: Được sử dụng để sản xuất đồ đạc thử nghiệm và khay vận chuyển. Độ chính xác cao và ô nhiễm thấp của nó đảm bảo kết quả kiểm tra chính xác.
Ưu điểm của các bộ phận than chì
Độ tinh khiết cao:
Sử dụng vật liệu than chì được ép đặc biệt cao với hàm lượng tạp chất cực kỳ thấp, nó đáp ứng các yêu cầu độ tinh khiết vật liệu nghiêm ngặt của sản xuất chất bán dẫn. Lò thanh lọc riêng của công ty có thể tinh chế than chì xuống dưới 5PPM.
Độ chính xác cao:
Với thiết bị xử lý tiên tiến và công nghệ xử lý trưởng thành, nó đảm bảo rằng độ chính xác và dung sai hình thức và vị trí của sản phẩm đạt đến mức Micron.
Hiệu suất cao:
Sản phẩm có khả năng chống nhiệt độ cao tuyệt vời, khả năng chống ăn mòn, kháng bức xạ, độ dẫn nhiệt cao và các tính chất khác, đáp ứng các điều kiện làm việc khắc nghiệt khác nhau của sản xuất chất bán dẫn.
Dịch vụ tùy chỉnh:
Các dịch vụ thiết kế và xử lý sản phẩm tùy chỉnh có thể được cung cấp theo nhu cầu của khách hàng để đáp ứng nhu cầu của các kịch bản ứng dụng khác nhau.
Các loại sản phẩm than chì
(1) Than chì đẳng hướng
Các sản phẩm than chì đẳng hướng được sản xuất bằng cách ép lạnh. So với các phương pháp hình thành khác, các loại cây trồng được tạo ra bởi quá trình này có sự ổn định tuyệt vời. Các sản phẩm than chì cần thiết cho các tinh thể đơn SIC đều có kích thước lớn, điều này sẽ dẫn đến độ tinh khiết không đồng đều trên bề mặt và bên trong các sản phẩm than chì, không thể đáp ứng các yêu cầu sử dụng. Để đáp ứng các yêu cầu tinh chế sâu của các sản phẩm than chì có kích thước lớn cần thiết cho các tinh thể đơn SIC, một quy trình tinh chế xung nhiệt độ cao độc đáo nên được áp dụng để đạt được tinh chế sâu và đồng đều của các sản phẩm than chì có hình dạng lớn hoặc có hình dạng đặc biệt, do đó độ tinh khiết của bề mặt sản phẩm và lõi có thể đáp ứng các yêu cầu sử dụng.
(2) Than chì xốp
Than than xốp là một loại than chì có độ xốp cao và mật độ thấp. Trong quá trình tăng trưởng tinh thể SIC, than chì xốp đóng vai trò quan trọng trong việc cải thiện tính đồng nhất của chuyển khối, làm giảm tốc độ xuất hiện của thay đổi pha và cải thiện hình dạng tinh thể.
Việc sử dụng than chì xốp giúp cải thiện độ đồng nhất nhiệt độ và nhiệt độ của diện tích vật liệu thô, làm tăng chênh lệch nhiệt độ trục trong nồi nấu kim loại, và cũng có ảnh hưởng nhất định trong việc làm suy yếu sự kết tinh của bề mặt vật liệu thô; Trong buồng tăng trưởng, than chì xốp giúp cải thiện tính ổn định của dòng vật liệu trong suốt quá trình tăng trưởng, tăng tỷ lệ C/Si của khu vực tăng trưởng, giúp giảm xác suất thay đổi pha, đồng thời, than chì xốp cũng đóng vai trò cải thiện giao diện tinh thể.
(3) Cảm thấy
Cảm giác mềm và cảm giác cứng cả hai đóng vai trò của vật liệu cách nhiệt quan trọng trong sự phát triển tinh thể sic và các liên kết epiticular.
(4) Lá than chì
Giấy than chì là một vật liệu chức năng được làm từ vảy carbon cao thông qua xử lý hóa học và lăn nhiệt độ cao. Nó có độ dẫn nhiệt cao, độ dẫn điện, tính linh hoạt và khả năng chống ăn mòn.
(5) Vật liệu composite
Trường nhiệt carbon-carbon là một trong những vật dụng cốt lõi trong sản xuất lò tinh thể đơn quang điện.
Sản xuất dấu chấm phẩy
Semicorex tạo ra than chì với các phương pháp sản xuất hàng loạt nhỏ, tùy chỉnh. Việc sản xuất lô nhỏ làm cho các sản phẩm có thể kiểm soát được hơn. Toàn bộ quá trình được kiểm soát bởi các bộ điều khiển logic lập trình (PLC), dữ liệu quy trình chi tiết đã được ghi lại, cho phép truy xuất nguồn gốc vòng đời hoàn chỉnh.
Trong toàn bộ quá trình rang, tính nhất quán đạt được trong điện trở suất trên các vị trí khác nhau và kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ được duy trì. Điều này đảm bảo tính đồng nhất và độ tin cậy của vật liệu than chì.
Semicorex sử dụng công nghệ cấp bách hoàn toàn đẳng cấp, khác với các nhà cung cấp khác; Nó có nghĩa là than chì là chính thống nhất và được chứng minh đặc biệt quan trọng trong các quá trình epiticular. Các thử nghiệm đồng nhất vật liệu toàn diện đã được tiến hành, bao gồm mật độ, điện trở suất, độ cứng, độ bền uốn và cường độ trên các mẫu khác nhau.
Semicorex Rigid Felt Crucible nổi bật là sự lựa chọn cao cấp cho các ứng dụng nhiệt độ cao trong ngành bán dẫn. Sự kết hợp giữa cường độ nén cao và khả năng cách nhiệt tuyệt vời khiến nó trở thành thành phần đáng tin cậy và hiệu quả trong quá trình phát triển tinh thể. Bằng cách chọn Semicorex Rigid Felt Crucible, bạn đầu tư vào một sản phẩm không chỉ nâng cao khả năng sản xuất của bạn mà còn hỗ trợ cam kết của bạn về chất lượng và hiệu suất. *
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex Graphite Rigid Felt là vật liệu hiệu suất cao được thiết kế cho các ứng dụng nhiệt độ cao, mang lại cường độ nén đặc biệt và khả năng cách nhiệt vượt trội. Hãy để Semicorex trở thành đối tác tin cậy của bạn trong việc đạt được các mục tiêu công nghiệp cao hơn.*
Đọc thêmGửi yêu cầuNỉ cứng được phủ cacbon giống thủy tinh, một sản phẩm đặc trưng của Semicorex, bao gồm chất nền nỉ cứng bằng sợi cacbon được bao bọc bởi lớp phủ cacbon giống thủy tinh, kết hợp độ bền vốn có của nỉ với các đặc tính bề mặt đặc biệt của cacbon giống thủy tinh . Cùng nhau, họ tạo ra một loại vật liệu nổi bật về hiệu suất trong những điều kiện khắc nghiệt.**
Đọc thêmGửi yêu cầuNồi nấu kim loại hỗn hợp Semicorex C/C của Semicorex là nồi nấu kim loại hiệu suất cao được thiết kế để phát triển tinh thể, mang lại độ ổn định nhiệt, độ bền và khả năng kháng hóa chất đặc biệt. Việc chọn Semicorex đảm bảo bạn nhận được sản phẩm đáng tin cậy, được sản xuất chính xác, được thiết kế để đáp ứng nhu cầu khắt khe của các ứng dụng tăng trưởng tinh thể ở nhiệt độ cao.*
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex Graphite Foil Roll là vật liệu tiên tiến được làm từ than chì tự nhiên giãn nở, được thiết kế để đáp ứng nhu cầu chính xác của các ứng dụng nhiệt độ cao. Với khả năng phục hồi, độ trơ hóa học và đặc tính nhiệt vượt trội, sản phẩm này nổi bật như một thành phần thiết yếu trong nhiều ngành công nghiệp khác nhau bao gồm chất bán dẫn, năng lượng mặt trời và gốm sứ.**
Đọc thêmGửi yêu cầuVật liệu tổng hợp Carbon Semicorex là vật liệu tiên tiến mang lại độ bền nhẹ đặc biệt, tính dẫn nhiệt cao và khả năng chống chịu vượt trội trước các điều kiện khắc nghiệt. Hãy chọn Semicorex vì chất lượng vượt trội và kỹ thuật cải tiến của chúng tôi, đảm bảo bạn nhận được các giải pháp đáng tin cậy và hiệu suất cao phù hợp với nhu cầu cụ thể của bạn.*
Đọc thêmGửi yêu cầu