Sic nắp

Nắp Sicorex là một phần quan trọng được thiết kế dành riêng cho xử lý chất bán dẫn. Nó được thiết kế cho các môi trường khó khăn nhất trong epitaxy, cấy ion và các ứng dụng nhiệt độ cao. Nó được sản xuất từ ​​cacbua silicon cực kỳ có tính chất vật liệu cực kỳ ổn định và độ chính xác được thiết kế. Tính nhất quán dài hạn, độ bền và độ sạch là những lý do chính để chọn nắp sic bán nguyệt để sử dụng trong các quy trình chế tạo chất bán dẫn tiên tiến.

Carbide silicon (sic)Có một loạt các thuộc tính duy nhất so với gốm sứ hoặc vật liệu kim loại truyền thống. Một trong những lợi thế chính của SIC là khả năng chống lại nhiệt độ cao. SIC có thể duy trì tính toàn vẹn cấu trúc và sự ổn định cơ học của nó - trong thời gian dài ngay cả ở nhiệt độ cao. Điều này làm cho SIC trở nên lý tưởng cho các quá trình như lắng đọng hơi hóa học (CVD) hoặc cấy ion năng lượng cao. Kim loại và nhựa sẽ biến dạng, oxy hóa hoặc gây ô nhiễm ở nhiệt độ khắc nghiệt, trong khi SIC sẽ duy trì sự ổn định kích thước của nó và sẽ không tương tác tích cực với các tấm wafer được xử lý.

Kháng hóa chất là một đặc điểm khác biệt khác của nắp sic. Trong quá trình xử lý chất bán dẫn, các môi trường mà bạn có thể gặp phải với khí ăn mòn, hóa chất hoặc hóa chất phản ứng không phải là hiếm. Trong các kịch bản đó, bề mặt SIC sẽ cung cấp một hàng rào trơ để chống lại những chất gây ô nhiễm làm suy giảm bề mặt theo thời gian dẫn đến một cuộc sống hiệu quả lâu hơn. Tuổi thọ này tương đương với việc giảm chi phí bảo trì, giảm thời gian thiết bị và độ lặp lại trong các chu kỳ quy trình mở rộng. Những yếu tố này làm cho nắp sic trở thành một lựa chọn tốt hơn cho FAB đòi hỏi sản xuất năng suất cao, liên tục so với các vật liệu truyền thống.

Giống như kháng hóa chất, độ tinh khiết cũng là tối quan trọng trong ứng dụng bán dẫn. Sự hiện diện của các chất gây ô nhiễm theo dõi có thể có tác động tiêu cực đến hiệu suất và năng suất của thiết bị. Nắp sic được làm từ các vật liệu cacbua silicon có độ tinh khiết cao, loại trừ khả năng tạp chất kim loại chảy vào môi trường quá trình. Ngoài ra, nó được đảm bảo là sạch sẽ nhất có thể và ổn định vì nó liên quan đến các chất gây ô nhiễm và các lực bên ngoài ảnh hưởng đến hiệu suất của nắp, điều này rất quan trọng trong việc đáp ứng các yêu cầu sản xuất bán dẫn ngày nay, trong đó các đối tượng cấp độ nanomet phải được xác định với độ chính xác và kiểm soát của các chất gây ô nhiễm. Tính linh hoạt mà nắp sic cung cấp là giá trị bổ sung. Mỗi thành phần có thể được thiết kế cho nhu cầu của khách hàng cụ thể liên quan đến kích thước, hình học và hoàn thiện bề mặt. Điều này đảm bảo rằng nắp có thể dễ dàng kết hợp vào và tích hợp với các mô hình thiết bị và công cụ xử lý khác nhau.

Độ chính xác của gia côngSicLids cải thiện hơn nữa giá trị của nắp sic. Các công cụ bán dẫn yêu cầu độ chính xác cơ học cao nhất do sự dao động lớn về khả năng tương thích kích thước và tính đồng nhất bề mặt, ngay cả các phương sai nhỏ về tính đồng nhất và độ dày vật liệu có thể làm tổn hại nghiêm trọng đến sự thống nhất của quy trình, thông lượng và chất lượng sản phẩm. Thông qua các công nghệ tiên tiến trong xử lý vật liệu, nắp sic có độ phẳng, đồng nhất bề mặt và dung sai vượt quá tiêu chuẩn công nghiệp thông thường, cung cấp độ dày bề mặt niêm phong cơ học o f, thông thường, hàng ngàn/hàng ngàn inch (TIR). Độ phẳng cao cho phép niêm phong sự phù hợp cơ học cũng như sự đảm bảo cho các giới hạn cấp phòng thí nghiệm để trải nghiệm các điều kiện trong quá trình sản xuất có thể được nhân rộng. Điều này đặc biệt rõ ràng trong các FAB khối lượng lớn trong đó sự nhấn mạnh vào khả năng lặp lại của các điều kiện là rất quan trọng đối với hiệu suất của các thiết bị bán dẫn. Khi bạn theo đuổi kỹ thuật chính xác, nó sẽ nói trực tiếp để tối ưu hóa năng suất. Các nắp sic được sử dụng thực tế điển hình, ví dụ, trong epitaxy trong đó nắp sic nằm ổn định về mặt nhiệt và hóa học để vào lò phản ứng, hoặc trong hệ thống cấy ion Người cầu hôn tại sao nắp sic được định sẵn là đồng nghĩa trong sản xuất chất bán dẫn trạng thái rắn.

Nắp Sicorex SIC đại diện cho cả khoa học vật liệu và kỹ thuật vật liệu tốt nhất, và cung cấp hiệu suất tốt nhất có thể trong môi trường bán dẫn, trong số dung sai nhiệt độ cao, kháng hóa chất, tinh khiết lý tưởng, chế tạo tùy chỉnh, công việc gia công chính xác, nắp sic sẽ thực hiện.