Cánh tay robot gốm alumina Semicorex, còn được gọi là bộ phận tác động cuối bằng gốm alumina, là các bộ phận gốm quan trọng chủ yếu được ứng dụng trong chế tạo mặt trước bán dẫn để xử lý, vận chuyển và định vị các tấm bán dẫn. Cánh tay robot gốm alumina Semicorex có cả hiệu suất đáng tin cậy và chi phí cạnh tranh, có thể đảm bảo truyền wafer có độ chính xác cao, không bị nhiễm bẩn và không bị hư hỏng.
Với độ sạch cao, khả năng song song tuyệt vời, kích thước chính xác, độ tin cậy ổn định và hoạt động hiệu quả, cánh tay robot bằng gốm là bộ phận không thể thiếu được ứng dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn tiên tiến. Với sự tiến bộ không ngừng của tự động hóa công nghiệp, nhu cầu thị trường về cánh tay robot bằng gốm không ngừng tăng trưởng đều đặn.
Các ngành công nghiệp cao cấp, bao gồm sản xuất tấm bán dẫn, lĩnh vực quang điện và các lĩnh vực điện tử chính xác, áp đặt các yêu cầu vận hành nghiêm ngặt đối với các bộ phận thiết bị. Dấu chấm phẩygốm aluminaCánh tay robot hoàn toàn có thể đáp ứng những nhu cầu nghiêm ngặt này của việc sản xuất chất bán dẫn trong điều kiện chân không và nhiệt độ cao nhờ hiệu suất vật liệu vượt trội được trình bày dưới đây.
1. Độ bền và độ cứng cơ học cao
2. Điểm nóng chảy cao và độ ổn định nhiệt đáng tin cậy
3. Ăn mòn hóa học đặc biệt
4. Hiệu suất cách điện tuyệt vời
| Của cải |
Tỉ trọng |
Độ bền uốn (20oC) |
Cường độ nén (20oC) |
Độ cứng (Knoop 1000gm) |
Độ bền kéo (25oC) |
Hệ số giãn nở nhiệt (25-1000oC) |
Nhiệt độ sử dụng tối đa |
||||||||||
| Đơn vị | g/cm³ |
MPa |
MPa |
GPa |
MPa |
1×10⁻⁶/oC |
℃ |
||||||||||
| 99,5% Al₂O₃ |
3.9 |
350 |
2600 | 16 | 260 | 8.2 | 1750 | ||||||||||
Dữ liệu trên chỉ mang tính chất tham khảo
1. Xử lý có độ chính xác cao
Dấu chấm phẩycánh tay robot gốm aluminalý tưởng để xử lý tấm bán dẫn ổn định cũng như việc kẹp và chuyển tấm bán dẫn có độ chính xác cao trong các xưởng sản xuất tấm bán dẫn dễ bị nhiễm bẩn trong lĩnh vực bán dẫn và quang điện, đảm bảo độ sạch của tấm bán dẫn và hiệu suất chip một cách đáng tin cậy.
2. Xử lý hóa học
Cánh tay robot gốm alumina Semicorex có thể chịu được sự ăn mòn của axit và kiềm mạnh, đồng thời rất phù hợp để vận hành trong các điều kiện hóa học mạnh, chẳng hạn như trong ngành hóa chất và lĩnh vực sản xuất pin năng lượng mới.
3. Sản xuất nhiệt độ cao Cánh tay robot gốm Semicorex alumina có thể được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực sản xuất thủy tinh, đúc và luyện kim vì chúng có thể đáp ứng nhu cầu duy trì độ bền và độ ổn định đáng tin cậy trong môi trường nhiệt độ cao đầy thách thức.