Bán dẫn Quartz Crucbles

Các hình chữ thập thạch anh bán dẫn bán dẫn là các sản phẩm tiêu thụ trong ngành công nghiệp bán dẫn dành riêng cho các loại hình chữ tư thạch anh được sử dụng trong quá trình kéo tinh thể của sản xuất tinh thể đơn silicon. Chúng được sản xuất từ ​​thạch anh hợp nhất cực kỳ, thỏa mãn độ sạch, tính đồng nhất và kháng nhiệt và được sản xuất để đáp ứng nhu cầu cao của sản xuất chất bán dẫn hiện đại. Chúng rất quan trọng đối với đặc tả thỏi silicon vì các thuộc tính của chúng tác động trực tiếp đến hiệu suất wafer và năng suất trong xử lý mạch tích hợp.

Từ quan điểm nhiệt và vật lý: Crucbles thạch anh có thể chịu được nhiệt rất tốt. Điểm biến dạng là khoảng 1100 ° C, điểm làm mềm là khoảng 1730 ° C và nhiệt độ dịch vụ liên tục tối đa là 1100 ° C, [tiếp xúc ngắn hạn lên tới 1450 ° C]. Các tính chất này cho phép khả năng sử dụng ở nhiệt độ cao trong khi cung cấp độ tinh khiết và khả năng phục hồi nhiệt cao, và do đó, thúc đẩy sự ổn định trong các quá trình kéo tinh thể czochralski (CZ), trong đó sự ô nhiễm và biến dạng cần được giảm thiểu, và các cấu hình nhiệt chính xác là tối đa để đạt được sự tăng trưởng tinh thể đồng nhất.

Từ góc độ cấu trúc, các hình chữ tư thạch anh bán dẫn bao gồm một cấu trúc tổng hợp nhiều lớp được thiết kế cho các tính chất nhiệt và cường độ cơ học. Lớp bắt đầu (di chuyển vào bên trong) là một lớp thạch anh trong suốt, nói chung là một phần ba độ dày thành (khoảng 3, 5 mm) và có hàm lượng bong bóng tương đối thấp (tùy thuộc vào kỹ thuật xử lý) và do đó bề mặt không có hiệu quả.

Bên ngoài được xếp lớp với mức độ bong bóng lớn hơn góp phần vào cường độ biến dạng của nồi nấu kim loại, khả năng chống ứng suất nhiệt cao hơn và cách nhiệt từ nguồn nhiệt để đồng nhất bức xạ. Các lớp của nồi nấu kim loại cho phép nó duy trì hình thức và tính toàn vẹn, mặc dù độ khác biệt độ khác biệt tồn tại trong quá trình kéo tinh thể.

Cây cẩm nang thạch anh hiện đại đã phát triển hơn so với cấu trúc hai lớp truyền thống do những tiến bộ trong công nghệ sản xuất. Nhiều cây cẩm thạch sử dụng cấu trúc ba lớp-một lớp bên trong trong suốt, lớp giữa trong suốt có bong bóng phân tán qua thạch anh và một lớp thạch anh sủi bọt mỏng bên ngoài. Cấu trúc ba lớp cung cấp sức mạnh cơ học tốt hơn, quản lý nhiệt và lợi ích chi phí, và cải thiện các đặc tính truyền nhiệt. Ngoài ra, một số loại cây trồng áp dụng lớp phủ của các ion kim loại kiềm (ví dụ: dung dịch ion bari) trên bề mặt trong cùng hoặc sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao trong các lớp cụ thể, để giúp giảm hàm lượng oxy, tinh khiết và cải thiện chất lượng tổng thể của các tinh thể đơn.

Sản xuất crô thạch anh cho chất bán dẫn được dự định sẽ được tổ chức để kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt ở độ tinh khiết cần thiết, thường là một tỷ tỷ tạp chất kim loại. Các nguyên liệu thô được lựa chọn cẩn thận và tinh chế để loại bỏ bất kỳ chất gây ô nhiễm nào. Chúng được hình thành theo kích thước thô, với điều trị nhiệt thích hợp được áp dụng, và bề mặt hoàn thiện để giải quyết độ chính xác kích thước, cường độ cơ học và độ sạch. Quá trình này hướng đến việc đảm bảo rằng các cây trồng sẽ vẫn đáng tin cậy trong khi phải chịu sự tiếp xúc ở nhiệt độ cao kéo dài trong môi trường hóa học khắc nghiệt.

Hiệu suất của nồi nấu kim loại thạch anh trong sản xuất chất bán dẫn ảnh hưởng đến tính đồng nhất của mạng tinh thể silicon, mật độ khuyết tật và oxy trong thỏi. Độ tinh khiết cao và hình chữ thập thạch anh không khiếm khuyết, sẽ hạn chế sự trật khớp của các khuyết tật tinh thể, tăng cường tốc độ năng suất và thiết lập khả năng tạo ra các tấm wafer để nâng cao hình học thiết bị. Nếu bạn là nhà sản xuất ICS hiệu suất HGH, silicon cấp quang điện hoặc điện tử công suất, việc lựa chọn và sử dụng các loại hình chữ tư có chất lượng cao là một yếu tố quan trọng để thiết lập và tối ưu hóa hiệu suất chi phí.

Bán kếtQuartz bán dẫnCây cua là một vật liệu phụ trợ thiết yếu cho bất kỳ hệ thống kéo tinh thể silicon. Các thuộc tính duy nhất của độ tinh khiết, độ ổn định nhiệt độ cao và cấu trúc nhiều lớp độc quyền làm cho đây là một vật liệu phù hợp để hỗ trợ cho sự khắc nghiệt của quá trình kéo CZ trong khi cung cấp hiệu suất nhất quán và có thể tái tạo. Khi sản xuất chất bán dẫn chuyển sang tích hợp cao hơn và dung sai chặt chẽ hơn, các lợi ích giá trị gia tăng đáng kể của các hình chữ tư thạch anh được thiết kế chính xác sẽ tạo ra tầm quan trọng hơn đối với việc cho phép và phát triển các công nghệ điện tử thế hệ tiếp theo.