Ống khuếch tán thạch anh cấp bán dẫn

Ống khuếch tán thạch anh cấp bán dẫn Semicorex là thành phần thạch anh thiết yếu nhằm cung cấp không gian phản ứng sạch và ổn định cho quá trình sản xuất tấm bán dẫn. Với khả năng sản xuất rộng khắp và đã được chứng minh, Semicorex có thể cung cấp cho khách hàng quý giá của chúng tôi các ống khuếch tán thạch anh cấp bán dẫn được thiết kế tùy chỉnh, có độ tương thích cao.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Thuyền thạch anhthường được sử dụng trong điều kiện vận hành ăn mòn hóa học khắc nghiệt ở nhiệt độ cao. Trong quá trình vận hành, các tấm bán dẫn được đặt trong thuyền thạch anh và đưa vào ống khuếch tán thạch anh. Khi ống khuếch tán đạt đến nhiệt độ cần thiết (vài trăm đến vài nghìn độ C), các khí xử lý (ví dụ: O₂, N₂, H₂, Ar) và các khí dopant (ví dụ: POCl₃, BBr₃) được đưa vào ống khuếch tán thạch anh thông qua các cổng khí để thực hiện quá trình oxy hóa, khuếch tán và ủ trên các tấm bán dẫn. Ngoài ra, để cải thiện tính đồng nhất và độ chính xác của quá trình khuếch tán, một số quá trình khuếch tán cần được thực hiện trong môi trường áp suất thấp.

Trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến, bất kỳ sai sót hoặc thiếu sót nhỏ nào trong các quy trình này đều có thể dẫn đến sự thất bại của các quy trình tiếp theo. Do đó, là một phần quan trọng của sản xuất chất bán dẫn, chất lượng của ống khuếch tán thạch anh rất quan trọng và ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất và hiệu suất của các thiết bị bán dẫn.

Thông số kỹ thuật của Semicorex Thạch anh bán dẫn cấp

Ống khuếch tán thạch anh bán dẫn Semicorex được sản xuất tỉ mỉ từ chất liệu cao cấpthạch anh bán dẫnvật liệu. Sau đây là các thông số cụ thể của nó:

Các thông số có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng.

Hiệu suất của Ống khuếch tán thạch anh cấp bán dẫn Semicorex

Dựa vào công nghệ xử lý giàu kinh nghiệm và lựa chọn vật liệu đáng tin cậy của chúng tôi, cấp bán dẫn Semicorexống khuếch tán thạch anhchứng minh hiệu suất vượt trội trong điều kiện vận hành đầy thách thức:

1. Hiệu suất chịu nhiệt độ cao

Ống khuếch tán thạch anh cấp bán dẫn Semicorex mang lại khả năng chịu nhiệt độ cao vượt trội, cho phép chúng hoạt động ổn định trong môi trường nhiệt độ cao lên đến 1200oC mà không bị biến dạng hoặc hư hỏng.

2. Hiệu suất ổn định nhiệt

Tự hào với hệ số giãn nở nhiệt đặc biệt, ống khuếch tán thạch anh cấp bán dẫn Semicorex có thể chịu được ứng suất nhiệt trong quá trình gia nhiệt hoặc làm mát nhanh mà không dễ bị nứt hoặc biến dạng.

3. Hiệu suất kháng hóa chất

Ống khuếch tán thạch anh cấp bán dẫn Semicorex mang lại độ trơ hóa học vượt trội trong môi trường ăn mòn khắc nghiệt, nhiệt độ cao. Hiệu suất này ngăn chặn đáng kể các chất gây ô nhiễm được tạo ra từ phản ứng của chúng với khí xử lý ảnh hưởng đến chất lượng wafer.