Hỗ trợ cảm biến thạch anh

Trong môi trường sản xuất chất bán dẫn khắt khe, sự khác biệt giữa một mẻ sản phẩm có năng suất cao và một thất bại tốn kém thường nằm ở độ chính xác vi mô của việc định vị tấm bán dẫn. Trục hỗ trợ cảm biến thạch anh Semicorex (thường được gọi là Trục thạch anh Epiticular) đóng vai trò là xương sống theo nghĩa đen của quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) và các quá trình tăng trưởng epiticular. Được thiết kế để chịu được độ dốc nhiệt cực cao và tiếp xúc với hóa chất, thành phần này rất quan trọng đối với chất lỏng, chuyển động thẳng đứng và chuyển động quay của các bộ phận cảm ứng hoặc chất mang bán dẫn.

Vai trò của thạch anh trong quá trình epiticular

Quá trình epiticular đòi hỏi nhiệt độ thường vượt quá 1000°C và môi trường không có tạp chất kim loại dù là nhỏ nhất. Vật liệu tiêu chuẩn sẽ không hoạt động hoặc hết khí trong những điều kiện này. Hỗ trợ cảm biến thạch anh của chúng tôi được sản xuất từ ​​silica nung chảy tổng hợp có độ tinh khiết cực cao, đảm bảo:

Tính ổn định nhiệt vượt trội:Khả năng chống sốc nhiệt cao, ngăn ngừa nứt vỡ trong chu kỳ làm nóng và làm mát nhanh.

Độ trơ hóa học:Không phản ứng với khí tiền chất và chất tẩy rửa, duy trì tính toàn vẹn của tấm bán dẫn.

Ô nhiễm tối thiểu:Với mức độ tạp chất được đo bằng phần triệu (ppm), nó ngăn chặn việc "pha tạp" bầu không khí với các nguyên tố không mong muốn.

Chức năng cốt lõi & Ưu điểm kỹ thuật

Chức năng chính của Bộ phận hỗ trợ cảm biến thạch anh là tạo điều kiện thuận lợi cho chuyển động theo chiều dọc và quay của bộ phận cảm biến—tấm giữ tấm bán dẫn.

1. Định vị dọc chính xác

Trong một lò phản ứng điển hình, khoảng cách giữa bề mặt wafer và đầu vào khí quyết định tính đồng nhất của màng. Trục thạch anh của chúng tôi được gia công với dung sai dưới milimet. Điều này cho phép hệ thống điều khiển chuyển động của thiết bị nâng hoặc hạ bộ cảm biến với độ lặp lại tuyệt đối, đảm bảo rằng mọi tấm bán dẫn trong quá trình sản xuất đều trải qua động lực dòng khí giống hệt nhau.

2. Chuyển động và truyền tải liền mạch

Hiệu quả trong sản xuất khối lượng lớn (HVM) phụ thuộc vào tốc độ xử lý tấm bán dẫn. Thiết kế dạng tấm và các gân kết cấu được gia cố của trục đỡ đảm bảo rằng nó có thể chịu được trọng lượng của than chì nặng hoặcchất nhạy được phủ silicon cacbua (SiC)không cúi đầu hoặc rung chuyển. Độ ổn định này rất cần thiết để chuyển mẫu nhanh chóng giữa các buồng xử lý hoặc trạm làm việc khác nhau, giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động.

3. Cách nhiệt tối ưu

Trong khi bộ phận nhạy cảm phải nóng thì các bộ phận cơ khí bên dưới thường cần phải mát hơn.Thạch anhhoạt động như một chất cách nhiệt tự nhiên. Cấu trúc rỗng, dạng ống của trục làm giảm đường dẫn nhiệt, bảo vệ động cơ và vòng đệm chân không nằm ở đế lò phản ứng.