Các vòng lấy nét bền Semicorex dành cho xử lý chất bán dẫn được thiết kế để chịu được môi trường khắc nghiệt của buồng ăn mòn plasma được sử dụng trong quá trình xử lý chất bán dẫn. Các vòng lấy nét của chúng tôi được làm bằng than chì có độ tinh khiết cao được phủ một lớp phủ silicon carbide (SiC) dày đặc, chống mài mòn. Lớp phủ SiC có đặc tính chống ăn mòn và chịu nhiệt cao, cũng như khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời. Chúng tôi phủ SiC thành các lớp mỏng lên than chì bằng cách sử dụng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) để cải thiện tuổi thọ sử dụng của các vòng tiêu điểm của chúng tôi.
Đọc thêmGửi yêu cầu