Các sản phẩm

Xi lanh dẫn hướng composite Semicorex C/C là thành phần chức năng không thể thiếu được sử dụng đặc biệt để phát triển silicon đơn tinh thể có độ tinh khiết cao. Được chế tạo từ vật liệu tổng hợp carbon-carbon hiệu suất cao thông qua các công nghệ chuyên dụng, xi lanh dẫn hướng composite Semicorex C/C duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong trường nhiệt silicon đơn tinh thể đầy thách thức với nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn.

Thuyền bán wafer SiC 6 inch của Semicorex là công cụ mang wafer gốm quan trọng được sử dụng để giữ, chuyển và xử lý wafer. Được thiết kế để giữ các tấm bán dẫn 6 inch, thuyền bán dẫn SiC 6 inch của Semicorex hoàn toàn tương thích với các điều kiện làm việc khắc nghiệt của quy trình khuếch tán chất bán dẫn ở nhiệt độ cao, mang lại kết quả xử lý tấm bán dẫn không bị nhiễm bẩn và không bị hư hại.

Các bộ phận cuối bằng gốm alumina Semicorex là thành phần kết cấu cơ khí không thể thiếu được chế tạo chính xác từ gốm alumina cao cấp. Có khả năng thực hiện chính xác các nhiệm vụ xử lý tấm bán dẫn quan trọng, bao gồm lấy, vận chuyển và căn chỉnh tấm bán dẫn, bộ gia công cuối bằng gốm alumina Semicorex được ứng dụng rộng rãi trong thiết bị chế tạo chất bán dẫn cao cấp và hệ thống tự động hóa có độ chính xác cao.

Bộ gia nhiệt phủ Semicorex SiC là các bộ phận gia nhiệt bằng than chì phủ CVD SiC được thiết kế cho các trường nhiệt bán dẫn, mang lại khả năng sinh nhiệt hiệu quả, khả năng chống ăn mòn tuyệt vời và độ tin cậy lâu dài trong thiết bị xử lý nhiệt độ cao. Semicorex cung cấp máy sưởi than chì phủ SiC tùy chỉnh và các giải pháp trường nhiệt hoàn chỉnh cho các nhà sản xuất chất bán dẫn trên toàn thế giới, được hỗ trợ bởi công nghệ phủ CVD tiên tiến, kỹ thuật chính xác và giao hàng toàn cầu đáng tin cậy.*

Mái chèo gốm Semicorex SiC là vật liệu mang wafer đúc hẫng silicon cacbua có độ tinh khiết cao được thiết kế để xử lý và vận chuyển wafer đáng tin cậy trong các quy trình lò bán dẫn nhiệt độ cao, mang lại độ ổn định nhiệt tuyệt vời, độ nhiễm bẩn thấp và tuổi thọ dài. Semicorex cung cấp các bộ phận lò gốm SiC hiệu suất cao cho khách hàng trên toàn thế giới, cung cấp các thiết kế tùy chỉnh, sản xuất chính xác và phân phối toàn cầu đáng tin cậy cho các ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện.*

Đầu đốt Semicorex SiC là thành phần cacbua silic hiệu suất cao được thiết kế để mang lại quá trình đốt cháy hiệu quả, ổn định nhiệt tuyệt vời và tuổi thọ lâu dài trong các hệ thống sưởi công nghiệp nhiệt độ cao. Semicorex sản xuất Vòi đốt SiC chính xác với công nghệ gốm tiên tiến, chất lượng ổn định và các giải pháp tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu khắt khe của các ứng dụng lò nung và lò nung công nghiệp.*