Các băng cassette semicorex PFA là những người vận chuyển độ tinh khiết cao được thiết kế để đảm bảo xử lý các tấm bán dẫn an toàn và không bị ô nhiễm trong quá trình xử lý, lưu trữ và vận chuyển ướt. Chọn Semicorex đảm bảo không chỉ chất lượng vật liệu PFA vượt trội mà còn cả kỹ thuật chính xác mang lại độ tin cậy, độ sạch và hiệu suất lâu dài trong môi trường chế tạo nâng cao.*
Các băng cassette semicorex PFA là các chất mang thiết kế được thiết kế để xử lý, lưu trữ và chuyển các tấm bán dẫn trong các ứng dụng chế tạo tiên tiến một cách an toàn. Các băng này được xây dựng từ polymer perfluoroalkoxy (PFA) có độ tinh khiết cao và thể hiện khả năng kháng hóa học, độ ổn định nhiệt và độ bền cơ học cần thiết trong việc làm sạch ướt, xử lý hóa học và các ứng dụng vận chuyển wafer. Wafer vẫn được bảo vệ khỏi ô nhiễm, thiệt hại cơ học và tấn công hóa học trong các bước vận chuyển wafer quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn.
Việc sử dụng PFA làm vật liệu chính cho các băng wafer này là một sự thay đổi đáng kể từ các chất mang polymer truyền thống. PFA có khả năng kháng vượt trội hơn nhiều axit, bazơ và dung môi phổ biến trong các bước làm sạch quá trình ướt (tức là làm sạch RCA, SC1, SC2) thường liên quan đến chế tạo bán dẫn. Sự trơ hóa hóa học của PFA đảm bảo rằng các tấm wafer sẽ không tiếp xúc với sự ô nhiễm bị rò rỉ từ chính người mang, vì vậy các khiếm khuyết không phát sinh do thiếu tính toàn vẹn của quá trình. Ngoài ra, việc có thể chịu được nhiệt độ cao cho phép các băng cassette hỗ trợ các quy trình liên quan đến bồn tắm hóa chất nóng hoặc rửa nước siêu tinh khiết với hiệu suất ổn định và đáng tin cậy.
PFA Wafer băng cassetteđược thiết kế với các bề mặt nhẵn chính xác cũng không phải là không để giảm thiểu sự tuân thủ hạt và cho phép làm sạch. Các băng wafer đạt được mức độ sạch cao ở các FAB ngày nay, nơi ngay cả ô nhiễm micron phụ cũng có thể dẫn đến mất năng suất hoặc lỗi thiết bị. Loại đường viền bên trong mịn làm giảm việc gãi các bề mặt wafer tinh tế và cho phép thoát chất lỏng có trật tự sau khi xử lý ướt để ngăn chặn một lượng dư lượng hóa chất còn lại hoặc chạm vào các tấm wafer trong khi tăng tính nhất quán của quá trình và giảm nhu cầu làm sạch lần thứ hai.
Một lợi thế lớn của các băng wafer PFA là độ chính xác và độ ổn định cấu trúc của kích thước. Quá trình chế tạo băng cassette đòi hỏi dung sai chặt chẽ hơn so với thông thường, cho phép băng cassette giữ chắc chắn các tấm wafer theo cách không có sự thay đổi không mong muốn hoặc tiếp xúc không mong muốn của các tấm wafer trong khi chuyển. Các băng cassette là vị trí hoặc phù hợp hoàn toàn cho dù đó là để xử lý thủ công hoặc trong các hệ thống vận chuyển wafer tự động. Các băng Wafer PFA sẽ phù hợp chính xác với các mụn ảnh hưởng vật lý tiêu chuẩn liên quan đến hệ thống vận chuyển và xử lý wafer tiêu chuẩn công nghiệp. Độ tin cậy dịch vụ dài và hữu ích liên quan đến băng cassette PFA làm tăng giá trị đầu tư như PFA có thể chịu được việc sử dụng lại sau khi lặp đi lặp lại hóa chất, đạp xe và tiếp xúc cơ học.
Các băng Wafer PFA là tài sản có giá trị không chỉ trong quá trình xử lý hóa học ướt để bảo vệ tấm wafer mà còn để lưu trữ và vận chuyển. Chúng được chế tạo bằng các vật liệu trơ để giữ cho các tấm wafer sạch sẽ trong quá trình làm mát, và độ bền của chúng sẽ hạn chế sự phá vỡ và các chip cạnh khỏi bao bì và vận chuyển. Các băng Wafer PFA rất quan trọng đối với FAB bán dẫn cũng như phòng thí nghiệm nghiên cứu, sản xuất quang điện và các ngành công nghiệp khác cần xử lý wafer có độ tinh khiết cao.
PFA Wafer băng cassetteCũng mang lại sự bền vững thuận lợi và chi phí cho mỗi lần sử dụng. Các vật liệu xây dựng có khả năng phục hồi tấn công hóa học và dễ dàng làm sạch để chúng có thể tái sử dụng, giảm chất thải và xử lý và khuyến khích sử dụng nhiều lần để giảm chi phí hoạt động dài hạn. Lưu ý sự cố chung của một wafer khi có ô nhiễm, giảm các sự kiện ô nhiễm và mất wafer sẽ làm tăng năng suất và giảm độ khiếm khuyết. Mất năng suất và tăng khả năng khuyết tật vải là những yếu tố chính trong bản thể học về khả năng cạnh tranh của hoạt động sản xuất bán dẫn.