Người mang wafer PFA

Semicorex PFANgười vận chuyển waferlà những người vận chuyển hiệu suất cao được thiết kế để xử lý, lưu trữ và vận chuyển an toàn các tấm plan bán dẫn trong môi trường cực kỳ sạch sẽ. Việc sản xuất các chất bán dẫn tiên tiến đảm bảo rằng các chất mang wafer PFA cung cấp khả năng kháng hóa học chưa từng có, độ ổn định nhiệt và kiểm soát hạt từ tính toàn vẹn và độ sạch của các tấm wafer trong quá trình chế tạo cho đến thử nghiệm cuối cùng.

Được làm từ PFA mới, các chất mang wafer này cho thấy khả năng chống lại các hóa chất khắc nghiệt như axit, bazơ và dung môi mạnh thường được sử dụng trong việc làm sạch và khắc các tấm wafer. Các đặc tính rò rỉ ion rất thấp của PFA làm cho nó trở thành vật liệu ưa thích cho các nhiệm vụ phòng sạch quan trọng, trong đó ngay cả một lượng nhỏ các chất gây ô nhiễm cũng có thể ảnh hưởng đến sản lượng của thiết bị.

Các tàu sân bay Wafer PFA được sản xuất trong phòng sạch sẽ và làm việc với các tiêu chuẩn phòng sạch lớp 1 (ISO lớp 3). Bề mặt mịn, không dính của PFA giảm thiểu sự tạo ra và độ bám dính của hạt, ngăn ngừa ô nhiễm từ dư lượng hoặc các hạt. Ngoài ra, thiên nhiên kỵ nước PFA, tạo điều kiện cho việc rửa sạch và sấy nhanh, làm giảm nguy cơ nhiễm chéo trong các bước xử lý ướt.

Mỗi nhà cung cấp dịch vụ wafer PFA được thực hiện chính xác để đảm bảo an toàn và thậm chí hỗ trợ các tấm wafer trong quá trình di chuyển và giữ. Các khe có rãnh giúp các tấm wafer có ít tiếp xúc, giảm căng thẳng và sứt mẻ trên các cạnh của bánh. Các nhà mạng có nhiều hình dạng để phù hợp với các kích thước khác nhau của các tấm wafer bao gồm 100 mm, 150 mm, 200 mm và 300 mm đường kính. Các đỉnh tùy chọn và cách khóa chặt chẽ cung cấp thêm sự an toàn chống lại sự sốc đối với các sản phẩm, rung động và tiếp xúc với môi trường.

Do điện trở nhiệt tuyệt vời của PFA lên tới 260 ° C, nó tương thích với các quá trình nhiệt độ cao như khuếch tán, oxy hóa và lắng đọng hơi hóa học CVD. Hãng vận chuyển giữ lại tính toàn vẹn cấu trúc của nó dưới chu kỳ nhiệt lặp đi lặp lại và do đó phù hợp cho cả môi trường xử lý hàng loạt và tự động.

Các hãng vận tải Wafer PFA có các ứng dụng rộng trong việc làm sạch wafer, khắc ướt, CMP quang học và các quy trình đầu tiên và back-end khác trong chế tạo IC. Thiết kế và độ tinh khiết mạnh mẽ của họ làm cho chúng trở nên lý tưởng để sử dụng trong Fabs, R & D Labs và thiết bị OEM đòi hỏi các giao thức kiểm soát ô nhiễm nghiêm ngặt.

Tùy chỉnhNgười mang wafer PFACó thể được phát triển để đáp ứng các yêu cầu tự động hóa cụ thể, bao gồm xử lý robot, hệ thống theo dõi và vận chuyển dọc/ngang. Các nhà mạng hoàn toàn tương thích với các thiết bị xử lý wafer tiêu chuẩn và các công cụ sản xuất chất bán dẫn.