Máy sưởi PBN

Máy sưởi Boron Nitride PBN của Borrolytic Boron Nitride là một thành phần sưởi ấm hiệu suất cao, có hiệu suất cao được thiết kế cho các ứng dụng đòi hỏi trong đó các vật liệu cực kỳ sạch, ổn định hóa học và hiệu quả nhiệt là rất cần thiết. Được sản xuất thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD), PBN thể hiện độ dẫn nhiệt đặc biệt, khả năng kháng nhiệt độ cao và trơ hóa hóa học nổi bật, làm cho nó trở thành lựa chọn lý tưởng để xử lý bán dẫn, tăng trưởng tinh thể và ứng dụng chân không.

Máy sưởi PBN là một lò sưởi sử dụng PBN cách điện cao làm chất nền và sử dụng sự lắng đọng hơi hóa học phân hủy nhiệt áp suất thấp (CVD) để phủ PG dẫn điện ở áp suất thấp (dưới 10TORR) và nhiệt độ cao. Các thành phần chính của máy sưởi hỗn hợp này là Boron Nitride (PBN) và than chì pyrolytic (PG). Do khả năng chống ăn mòn tuyệt vời và khả năng chịu nhiệt độ cao, nó chủ yếu được sử dụng để gia nhiệt chất nền bán dẫn (được sử dụng trong MBE, MOCVD, lớp phủ phun, v.v.); Superconductor Chất nền sưởi ấm; làm nóng mẫu trong quá trình phân tích mẫu; Kính hiển vi điện tử làm nóng mẫu; làm nóng kim loại; Nguồn sưởi ấm bằng kim loại, v.v.

PBN trơ vào khí ăn mòn; có độ tinh khiết cao (lớn hơn 99,99%); không ướt hoặc phản ứng với hầu hết các kim loại nóng chảy (nó có đặc điểm của chảo không dính và kim loại có thể được sử dụng 100%); có điện trở nhiệt độ cao tốt (nhiệt độ hoạt động tối đa là 2000); mật độ tốt; Điện trở sốc nhiệt tốt và các tính chất tuyệt vời khác làm cho nó trở thành một vật liệu lý tưởng để chuẩn bị máy sưởi tổng hợp PBN-PG. PG có thể được làm nóng nhanh chóng đến 1600 (trong bầu không khí trơ và dưới chân không) trong lò sưởi PBN. Đồng thời, kết hợp với độ dẫn nhiệt tốt của PBN, bề mặt gia nhiệt có độ đồng nhất nhiệt tốt. Với sự phát triển nhanh chóng của các ngành công nghiệp liên quan, nhu cầu về máy sưởi tổng hợp PBN-PG cũng tăng nhanh.

Máy sưởi PBN có thể được chế tạo trong nhiều hình dạng và cấu hình khác nhau để đáp ứng các yêu cầu thiết kế và tích hợp cụ thể. Các thiết kế điển hình bao gồm lò sưởi phẳng, lò sưởi hình ống và hình học tùy chỉnh với các yếu tố sưởi ấm được nhúng hoặc gắn trên bề mặt. Các yếu tố gia nhiệt thường được làm bằng than chì phpyrolytic (PG) và được đóng gói trong PBN, cung cấp cấu trúc hoàn toàn kín, cách điện và cấu trúc hiệu quả nhiệt.