Mâm cặp tĩnh điện PBN

Tính chất vật liệu củaPBNĐầu kẹp tĩnh điện

Chịu nhiệt độ cao và độ bền điện môi

cácPBNĐầu kẹp tĩnh điện nổi tiếng với khả năng chịu nhiệt độ cao vượt trội, một đặc điểm then chốt trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Pyrolytic Boron Nitride (PBN), vật liệu được sử dụng trong chế tạo mâm cặp, có điện trở suất cao hơn hầu hết các loại gốm được sử dụng phổ biến nhất, điều này rất quan trọng để duy trì lực mâm cặp Johnsen-Rahbek (J-R) lên đến nhiệt độ 1050°C. Điện trở suất cao này cùng với độ bền điện môi cao đảm bảo ngăn ngừa sự cố điện một cách hiệu quả ngay cả dưới nhiệt độ cao, nhờ đó nâng cao độ tin cậy vận hành của mâm cặp.

Tính đồng nhất nhiệt và khả năng chống sốc

Cấu trúc mạng lục giác của PBN, được tạo ra thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học ở nhiệt độ vượt quá 1500°C, góp phần mang lại tính đồng nhất nhiệt và khả năng chống sốc vượt trội. Các bộ phận làm nóng mật độ cao bên trongPBNĐầu kẹp tĩnh điện cho phép nó đạt được cấu hình nhiệt wafer ổn định với độ đồng đều tốt từ 1,1–1,5% ở nhiệt độ 600–800°C. Hơn nữa, mâm cặp dựa trên PBN thể hiện khả năng chống sốc nhiệt vượt trội và khối lượng nhiệt thấp hơn, cho phép nó đạt tới 600°C ở tốc độ tăng tốc nhanh 23°C/giây mà không có nguy cơ bị nứt hoặc tách lớp.

Hệ thống sưởi đa vùng có thể tùy chỉnh

Mâm cặp tĩnh điện PBN có khả năng tùy biến cao, có khả năng làm nóng đa vùng cho phép kiểm soát nhiệt độ tối đa. Mức độ tùy chỉnh này đảm bảo rằng mỗi mâm cặp có thể được điều chỉnh để đáp ứng các yêu cầu cụ thể của từng khách hàng, cung cấp giải pháp linh hoạt cho các ứng dụng xử lý chất bán dẫn khác nhau.

Ứng dụng củaPBNĐầu kẹp tĩnh điện

Cấy ion và xử lý wafer

Mâm cặp tĩnh điện PBN là thiết bị xử lý tấm bán dẫn được ưa chuộng trong quy trình cấy ion. Khả năng giữ tấm bán dẫn ở nhiệt độ trên 1000°C khiến nó trở thành một trong những mâm cặp tĩnh điện linh hoạt nhất trên thị trường. Tính linh hoạt này còn được tăng cường hơn nữa nhờ khả năng duy trì các tấm bán dẫn trong phạm vi nhiệt độ rất chặt chẽ, nhờ các bộ phận làm nóng đa vùng, mật độ cao.

Cấy ion silicon cacbua

Trong ứng dụng cụ thể của việc cấy ion SiC,PBNĐầu kẹp tĩnh điện cung cấp một giải pháp khả thi cho những thách thức trong việc gia nhiệt và xử lý tấm bán dẫn. Khả năng chức năng kép của nó, bao gồm lực kẹp cao, công suất gia nhiệt cao, độ đồng đều nhiệt tốt và phản ứng nhanh, khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng để giải quyết các yêu cầu phức tạp của việc cấy ion SiC.

Sản xuất chất bán dẫn

Mâm cặp tĩnh điện PBN đóng một vai trò quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, trong đó việc xử lý tấm bán dẫn chính xác và kiểm soát nhiệt độ là rất cần thiết. Khả năng chống sốc nhiệt cao và khả năng tăng nhiệt độ nhanh khiến nó phù hợp với các quy trình bán dẫn tiên tiến đòi hỏi quản lý nhiệt độ nghiêm ngặt và chu kỳ nhiệt nhanh.