Đĩa gốm PBN

Một trong những ưu điểm đáng kể nhất của Đĩa gốm PBN là độ tinh khiết cao đáng kể. Độ tinh khiết của vật liệu khí được sử dụng trong quá trình tổng hợp (BCl3 + NH3 -> BN + HCl) vượt xa so với bột boron nitrit thông thường. Do đó, Đĩa gốm PBN đạt được mức độ tinh khiết 99,99%, với tổng tạp chất lên tới dưới 100 phần triệu (ppm). Độ tinh khiết đặc biệt này rất quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, nơi mà ngay cả sự nhiễm bẩn nhỏ nhất cũng có thể dẫn đến lỗi trong các linh kiện điện tử. Bằng cách đảm bảo độ tinh khiết cao như vậy, Đĩa gốm PBN giảm thiểu nguy cơ nhiễm bẩn, từ đó nâng cao độ tin cậy và hiệu suất của các thiết bị bán dẫn.

Quy trình CVD được sử dụng trong quá trình sản xuất Đĩa gốm PBN mang lại cho nó một cấu trúc phân lớp gần như hoàn hảo. Cấu trúc độc đáo này tạo điều kiện thuận lợi cho tính dẫn nhiệt dị hướng, một đặc tính rất có lợi cho các bộ phận được sử dụng trong hệ thống lò nung và chân không. Độ dẫn nhiệt dị hướng cho phép Đĩa gốm PBN quản lý phân phối nhiệt hiệu quả, đảm bảo kiểm soát nhiệt độ đồng đều trên bề mặt đĩa. Khả năng này rất cần thiết trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn yêu cầu quản lý nhiệt chính xác để ngăn chặn sự chênh lệch nhiệt độ có thể dẫn đến hỏng linh kiện hoặc hoạt động kém hiệu quả.

Về khả năng phục hồi nhiệt, Đĩa gốm PBN nổi bật như một vật liệu mẫu mực. Nó có thể chịu được nhiệt độ lên tới 1800°C trong môi trường chân không và 2000°C trong nitơ mà không có điểm nóng chảy. Độ ổn định nhiệt vượt trội này khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng cho các bộ phận lò nung và bình nóng chảy, nơi nhiệt độ khắc nghiệt là một phần hoạt động thường xuyên. Khả năng duy trì tính toàn vẹn của cấu trúc ở nhiệt độ cao như vậy đảm bảo tuổi thọ và độ tin cậy, giảm nhu cầu thay thế thường xuyên và do đó giảm chi phí vận hành tổng thể.

Độ trơ hóa học là một đặc điểm nổi bật khác của Đĩa gốm PBN. Nó có khả năng chống lại các phản ứng với nhiều loại chất, bao gồm axit, kiềm, dung môi hữu cơ, kim loại nóng chảy và than chì. Tính trơ này đặc biệt có lợi trong sản xuất chất bán dẫn, nơi thường xuyên tiếp xúc với các chất phản ứng. Bằng cách duy trì trạng thái không phản ứng, Đĩa gốm PBN tránh được các tương tác hóa học không mong muốn có thể ảnh hưởng đến tính toàn vẹn và chức năng của các thành phần bán dẫn.

Các ứng dụng của Đĩa gốm PBN trong ngành bán dẫn rất đa dạng và có tác động mạnh mẽ. Đặc tính của nó làm cho nó trở thành vật liệu lý tưởng để sử dụng trong nhiều môi trường có nhiệt độ cao và độ tinh khiết cao. Ví dụ, trong các quá trình tăng trưởng epiticular, đĩa đóng vai trò là thành phần quan trọng trong hệ thống lắng đọng, trong đó độ tinh khiết và độ dẫn nhiệt của nó đảm bảo sản xuất các lớp bán dẫn chất lượng cao. Ngoài ra, trong quá trình chế tạo đèn LED và các thiết bị quang điện tử khác, Đĩa gốm PBN cung cấp nền tảng ổn định và đáng tin cậy hỗ trợ các quy trình phức tạp cần thiết để đạt được hiệu suất thiết bị tối ưu.

Hơn nữa, vai trò của Đĩa gốm PBN còn mở rộng sang việc sản xuất các thiết bị điện tử công suất. Các thiết bị này thường hoạt động ở nhiệt độ cao và yêu cầu vật liệu có thể duy trì hiệu suất trong những điều kiện như vậy. Đặc tính nhiệt và hóa học tuyệt vời của Đĩa gốm PBN khiến nó trở thành lựa chọn phù hợp cho các chất nền và các thành phần khác trong hệ thống điện tử công suất, góp phần nâng cao hiệu quả và độ bền của các thiết bị này.

Cấu trúc Boron Nitride