Khắc khô là công nghệ chính trong quy trình sản xuất hệ thống vi cơ điện tử. Hiệu suất của quá trình khắc khô có ảnh hưởng trực tiếp đến độ chính xác về cấu trúc và hiệu suất hoạt động của các thiết bị bán dẫn. Để kiểm soát chính xác quá trình khắc, phải chú ý chặt chẽ đến các thông số đánh giá cốt ......
Đọc thêmĐường trượt tĩnh khí cacbua silic là một hệ thống dẫn hướng tiên tiến kết hợp các đặc tính vật liệu của cacbua silic và công nghệ khí tĩnh. Phục vụ như là giải pháp tối ưu cho các hệ thống chuyển động có độ chính xác cao, độ tin cậy cao và lâu dài, đường trượt tĩnh khí cacbua silic được sử dụng rộng......
Đọc thêmPhương pháp chủ đạo để điều chế các tinh thể đơn cacbua silic là phương pháp vận chuyển hơi vật lý (PVT). Phương pháp này chủ yếu bao gồm khoang ống thạch anh, bộ phận làm nóng (cuộn dây cảm ứng hoặc lò sưởi than chì), vật liệu cách nhiệt bằng than chì, nồi nấu bằng than chì, tinh thể hạt cacbua sil......
Đọc thêmSOI, viết tắt của Silicon-On-Insulator, là một quy trình sản xuất chất bán dẫn dựa trên vật liệu nền đặc biệt. Kể từ khi công nghiệp hóa vào những năm 1980, công nghệ này đã trở thành một nhánh quan trọng của quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến. Được phân biệt bởi cấu trúc hỗn hợp ba lớp độc ......
Đọc thêmChuck tĩnh điện đảm nhận nhiều chức năng như phóng tĩnh điện đồng đều, dẫn nhiệt, hấp phụ và cố định tấm bán dẫn trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn. Một trong những chức năng cốt lõi của ESC là hấp thụ ổn định các tấm bán dẫn trong các điều kiện vận hành khắc nghiệt như chân không cao, plasma mạnh......
Đọc thêm