Trong quá trình đầu tiên (FEOL) của sản xuất chất bán dẫn, wafer cần phải chịu các phương pháp xử lý quy trình khác nhau, đặc biệt là wafer cần phải được làm nóng đến một nhiệt độ nhất định và có những yêu cầu nghiêm ngặt, bởi vì tính đồng nhất của nhiệt độ có tác động rất quan trọng đến năng suất s......
Đọc thêm