Để đạt được yêu cầu chất lượng cao của quy trình xử lý mạch chip IC với độ rộng đường truyền nhỏ hơn 0,13μm đến 28nm đối với tấm đánh bóng silicon đường kính 300mm, điều cần thiết là giảm thiểu ô nhiễm từ các tạp chất, chẳng hạn như ion kim loại, trên bề mặt tấm bán dẫn.
Đọc thêmKhi thế giới tìm kiếm những cơ hội mới trong lĩnh vực bán dẫn, Gallium Nitride (GaN) tiếp tục nổi bật như một ứng cử viên tiềm năng cho các ứng dụng năng lượng và RF trong tương lai. Tuy nhiên, bất chấp rất nhiều lợi ích, GaN phải đối mặt với một thách thức đáng kể: sự vắng mặt của các sản phẩm loại......
Đọc thêmĐánh bóng bề mặt tấm bán dẫn silicon là một quá trình quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn. Mục tiêu chính của nó là đạt được các tiêu chuẩn cực kỳ cao về độ phẳng và độ nhám bề mặt bằng cách loại bỏ các khuyết tật vi mô, các lớp hư hỏng do ứng suất và ô nhiễm từ các tạp chất như ion kim loại.
Đọc thêm