Khắc, hay khắc, là một bước quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, sản xuất vi mạch vi điện tử và quy trình sản xuất vi mô/nano. Đó là một quá trình tạo khuôn sơ cấp liên quan đến quang khắc. Theo nghĩa hẹp, khắc về cơ bản là khắc quang khắc, trong đó chất quang dẫn đầu tiên được phơi bày bằng phươ......
Đọc thêmSilicon nitride (Si₃N₄) là vật liệu gốm cấu trúc có độ dẫn nhiệt nội tại khoảng 320 W/(m·K), có tính dẫn nhiệt cao và các đặc tính cơ học vượt trội. Nhờ tính ổn định vượt trội ở nhiệt độ môi trường, Si₃N₄ đã trở thành vật liệu đóng gói nền gốm được sử dụng rộng rãi cho ngành công nghiệp bán dẫn hiện......
Đọc thêmTrong chế tạo thiết bị bán dẫn cao cấp, màng SiO₂ thường được hình thành thông qua quá trình oxy hóa để xử lý bề mặt chất nền và các ứng dụng phổ biến của chúng bao gồm lớp rào cản dopant, lớp cách nhiệt bề mặt, lớp oxit cổng, oxit trường và oxit hy sinh. Là quá trình cốt lõi trong chế tạo wafer, dự......
Đọc thêmVới sự tiến bộ của công nghệ, các sản phẩm thông minh như điện thoại di động, máy tính, xe điện và robot đã trở nên tích hợp vào cuộc sống của con người. Những sản phẩm này chứa một số lượng lớn chip bán dẫn và việc chế tạo chip đòi hỏi phải có thiết bị bán dẫn, chẳng hạn như máy khắc, máy in thạch ......
Đọc thêmTấm silicon có điện trở suất cao (HR-Si), đúng như tên gọi của nó, là một vật liệu silicon đơn tinh thể có điện trở suất cực cao. Trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn tiên tiến, suy hao tần số cao đã trở thành thách thức lớn trong thiết kế chip cao cấp. Nhờ điện trở suất cực cao, tấm wafer silicon c......
Đọc thêmVòng lấy nét hay còn gọi là vòng bù hoặc vòng giam cầm là thành phần không thể thiếu của thiết bị khắc, đặc biệt là thiết bị khắc khô plasma. Các quy trình khắc chính xác ở cấp độ nano trong sản xuất chất bán dẫn hiện đại sẽ không thể đạt được nếu không có nó. Việc sử dụng vòng lấy nét đảm bảo tính ......
Đọc thêm