Cấu trúc của Chuck tĩnh điện (ESC)

MỘTĐầu cặp tĩnh điện (ESC)là một thiết bị được sử dụng để giữ các tấm bán dẫn tại chỗ trong các quá trình như khắc, lắng đọng hoặc đánh bóng. Nó hoạt động bằng cách tạo ra một trường tĩnh điện để thu hút và giữ chặt tấm bán dẫn trên bề mặt mâm cặp, mang lại sự ổn định và căn chỉnh chính xác trong quá trình xử lý tấm bán dẫn. ESC được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn để cải thiện độ chính xác của quy trình và hiệu quả xử lý tấm bán dẫn.

Hình ảnh thực tế của một thông thườngmâm cặp tĩnh điện (ESC)được mô tả trong hình. Sự khác biệt chính giữa các mẫu nằm ở vật liệu lớp cách điện trên bề mặt mâm cặp tĩnh điện. Trong hình, màu tối tượng trưng cho nhôm nitrit, trong khi màu trắng tượng trưng cho nhôm oxit. Cấu trúc củamâm cặp tĩnh điệnbao gồm một số phần:

1. **Lớp cách điện**: Lớp này tiếp xúc với wafer, thường được làm từ nhôm nitrit hoặc gốm oxit nhôm do có độ bền cơ học tuyệt vời, khả năng chịu nhiệt độ cao và dẫn nhiệt tốt.

2. **Pin đẩy và lỗ khí**: Chốt đẩy được thiết kế để chuyển wafer. Khi tấm bán dẫn đi vào buồng khắc, chốt đẩy nâng lên để đỡ nó, sau đó nó hạ xuống để đặt tấm bán dẫn lên bề mặt của mâm cặp tĩnh điện. Chốt đẩy thường có cấu trúc rỗng, cho phép đưa khí heli vào giúp làm mát tấm bán dẫn.

3. **Kênh dòng chảy ngược**: Thành phần này tăng cường khả năng tản nhiệt và tạo điều kiện cho sự hấp phụ của wafer.

4. **Điện cực tĩnh điện**: Điện cực này tạo ra điện trường tạo ra lực tĩnh điện cần thiết để giữ tấm wafer tại chỗ. Thông thường, điện cực có dạng phẳng và được nhúng bên trong hoặc đặt trên vật liệu cách điện. Các vật liệu dẫn điện thường được sử dụng bao gồm nhôm, đồng và vonfram.

5. **Nước làm mát tuần hoàn và điện cực sưởi**: Những bộ phận này chịu trách nhiệm chính trong việc kiểm soát nhiệt độ tổng thể của mâm cặp tĩnh điện. Điện cực làm nóng và nước làm mát tuần hoàn hoạt động song song để duy trì nhiệt độ ổn định cho wafer. Chỉ dựa vào nước làm mát tuần hoàn có thể dẫn đến việc không thể quản lý nhiệt sinh ra trong quá trình ăn mòn, có khả năng ảnh hưởng đến sự ổn định của quy trình.  

Semicorex cung cấp chất lượng caoKẹp tĩnh điện (ESC). Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm chi tiết, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Số điện thoại liên hệ +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com