CVD cho SiC là gì

Lắng đọng hơi hóa học, hay CVD, là một phương pháp thường được sử dụng để tạo màng mỏng dùng trong sản xuất chất bán dẫn.Trong ngữ cảnh của SiC, CVD đề cập đến quá trình phát triển màng mỏng hoặc lớp phủ SiC bằng phản ứng hóa học của tiền chất khí trên đế. Các bước chung liên quan đến SiC CVD như sau:

Chuẩn bị chất nền: Chất nền, thường là một tấm silicon mỏng, được làm sạch và chuẩn bị để đảm bảo bề mặt sạch cho quá trình lắng đọng SiC.

Điều chế khí tiền chất: Tiền chất khí chứa các nguyên tử silic và cacbon được điều chế. Các tiền chất phổ biến bao gồm silan (SiH4) và methylsilane (CH3SiH3).

Thiết lập lò phản ứng: Chất nền được đặt bên trong buồng lò phản ứng, và buồng được hút chân không và làm sạch bằng khí trơ, chẳng hạn như argon, để loại bỏ tạp chất và oxy.

Quá trình lắng đọng: Các khí tiền chất được đưa vào buồng phản ứng, tại đây chúng trải qua các phản ứng hóa học để tạo thành SiC trên bề mặt chất nền. Các phản ứng thường được thực hiện ở nhiệt độ cao (800-1200 độ C) và dưới áp suất được kiểm soát.

Tăng trưởng màng: Màng SiC dần dần phát triển trên đế khi các khí tiền thân phản ứng và lắng đọng các nguyên tử SiC. Tốc độ tăng trưởng và tính chất của màng có thể bị ảnh hưởng bởi các thông số quy trình khác nhau, chẳng hạn như nhiệt độ, nồng độ tiền chất, tốc độ dòng khí và áp suất.

Làm mát và hậu xử lý: Sau khi đạt được độ dày màng mong muốn, lò phản ứng được làm nguội và chất nền phủ SiC được loại bỏ. Các bước xử lý sau bổ sung, chẳng hạn như ủ hoặc đánh bóng bề mặt, có thể được thực hiện để tăng cường các đặc tính của màng hoặc loại bỏ bất kỳ khuyết tật nào.

SiC CVD cho phép kiểm soát chính xác độ dày, thành phần và đặc tính của màng. Nó được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn để sản xuất các thiết bị điện tử dựa trên SiC, chẳng hạn như bóng bán dẫn, điốt và cảm biến công suất cao. Quy trình CVD cho phép lắng đọng các màng SiC đồng nhất và chất lượng cao với tính dẫn điện và ổn định nhiệt tuyệt vời, làm cho nó phù hợp với các ứng dụng khác nhau trong điện tử công suất, hàng không vũ trụ, ô tô và các ngành công nghiệp khác.

Semicorex chuyên về các sản phẩm phủ CVD SiC vớigiá đỡ wafer / chất nhạy cảm, bộ phận SiC, vân vân.