Biết mái chèo công xôn

Trong quá trình xử lý, các tấm bán dẫn thường phải được nung nóng trong lò chuyên dụng. Những lò như vậy thường bao gồm các ống hình trụ dài, mỏng. Các tấm mỏng được định vị trong lò và lò phản ứng theo cách mà chúng được sắp xếp dọc theo một mặt phẳng được xác định bởi mặt cắt ngang tròn của lò hoặc lò phản ứng và được đặt cách nhau tại các điểm được xác định trước, thường cách đều nhau, dọc theo trục trung tâm của lò hoặc lò phản ứng. Để đạt được vị trí này, các tấm wafer thường được đặt trên các giá đỡ có rãnh, được gọi là thuyền wafer, đặt các tấm wafer theo cấu hình cách đều nhau dọc theo trục trung tâm.

Những chiếc thuyền nhỏ chứa các lô tấm wafer cần xử lý được đặt trên các mái chèo công xôn dài qua đó có thể đưa vào và rút lò hình ống và lò phản ứng. Những mái chèo như vậy thường bao gồm một phần giá đỡ phẳng, trên đó có thể đặt một hoặc nhiều thuyền nhỏ và một tay cầm dài, nằm ở một đầu của phần giá đỡ phẳng, nhờ đó có thể cầm các mái chèo. Phần chuyển tiếp thường được hình thành giữa phần tay cầm và phần giá đỡ để làm cho chúng trở thành một tổng thể. Ngoài ra, tay cầm phải vươn ra khỏi lò hoặc lò phản ứng để có thể thao tác với nó và thuyền wafer.

Việc định vị tàu bán lát trong lò hoặc lò phản ứng là quan trọng vì mong muốn đặt tâm của mỗi lát bán dẫn càng gần trục trung tâm của lò hoặc lò phản ứng càng tốt để đạt được các điều kiện xử lý đồng nhất mà các lát bán dẫn phải tuân theo. Do đó, việc uốn cong mái chèo do trọng lượng của tàu chở các tấm bán dẫn phải được xem xét trong thiết kế mái chèo, đặc biệt là khi mái chèo chỉ được đỡ ở một đầu, tức là đầu nhô ra khỏi buồng lò. Ngoài việc xem xét thiết kế cánh khuấy do các yêu cầu về trọng lượng vận hành, một bộ kẹp được thiết kế để giữ chính xác đầu kéo dài của cánh khuấy vào đúng vị trí cũng phải được sử dụng. Các kẹp này phải khá chắc chắn để giữ mái chèo ở vị trí mong muốn chính xác trong khi sử dụng đơn giản và giảm thiểu khả năng hư hỏng mái chèo trong quá trình kẹp.

Do đó, cần có một mái chèo công xôn có thể được sử dụng với tải trọng nặng hơn trong khi vẫn tương thích với các hệ thống kẹp hiện có. Cũng cần có một mái chèo công xôn thể hiện các đặc tính lệch có thể chấp nhận được trên toàn bộ phạm vi tải trọng mà nó có thể được sử dụng.

các cmái chống đòn bẩy được khuyến nghị sử dụng cacbua silic tái kết tinh với lớp mỏng CVD SiC, có độ tinh khiết cao và là lựa chọn tốt nhất cho các thành phần trong quá trình xử lý chất bán dẫn.

Semicorex có thể cung cấpchất lượng caomái chèo đúc hẫngVàdịch vụ tùy chỉnh theo bản vẽ và môi trường làm việc.