Mái chèo đúc hẫng là gì?

Trong quá trình xử lý tấm bán dẫn, lò nung chuyên dụng được sử dụng để làm nóng tấm bán dẫn. Những lò nung này chứa các ống hình trụ dài, trong đó các tấm bán dẫn được đặt trên các thuyền bán dẫn ở các vị trí xác định trước và cách đều nhau. Để đảm bảo thiết bị xử lý không lãng phí các tấm bán dẫn và chịu được các điều kiện xử lý bên trong buồng, thuyền bán bán dẫn và các thiết bị khác dùng trong xử lý tấm bán dẫn được chế tạo từ các vật liệu như cacbua silic (SiC).

Các thuyền bán wafer, chất đầy một mẻ bánh bán dẫn cần xử lý, được đặt trên các mái chèo đúc hẫng dài. Những cánh khuấy này có thể được đưa vào và rút ra khỏi lò nung hình ống và lò phản ứng. Các mái chèo bao gồm một phần tàu chở dẹt có thể chứa một hoặc nhiều thuyền và một tay cầm dài nằm ở một đầu của phần tàu chở dẹt để dễ dàng xử lý.

Để có các thành phần tốt nhất trong xử lý chất bán dẫn, nên sử dụng mái chèo đúc hẫng được làm từ cacbua silic kết tinh lại với lớp mỏng CVD SiC. Vật liệu này có độ tinh khiết cao và là sự lựa chọn tốt nhất cho các thành phần như vậy.

Semicorex chế tạo các cánh đúc hẫng tùy chỉnh với lớp phủ CVD SiC chất lượng cao. Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm chi tiết, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Số điện thoại liên hệ +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com