Chất nhạy cảm với than chì được phủ SiC là gì?

Khay (đế) hỗ trợ các tấm wafer SiC hay còn gọi là "Người làm công việc khâm liệm," là thành phần cốt lõi của thiết bị sản xuất chất bán dẫn. Và chính xác thì chất nhạy cảm mang các tấm bán dẫn này là gì?

Trong quá trình sản xuất wafer, các chất nền cần được chế tạo thêm bằng các lớp epiticular để chế tạo thiết bị. Ví dụ điển hình bao gồmbộ phát đèn LED, đòi hỏi các lớp epiticular GaAs trên nền silicon; trên đế SiC dẫn điện, các lớp epiticular SiC được phát triển cho các thiết bị như SBD và MOSFET, được sử dụng trong các ứng dụng điện áp cao và dòng điện cao; TRÊNchất nền SiC bán cách điện, Các lớp epiticular GaN được xây dựng để xây dựng các thiết bị như HEMT, được sử dụng trong các ứng dụng RF như truyền thông. Quá trình này phụ thuộc rất nhiều vào thiết bị CVD.

Trong thiết bị CVD, chất nền không thể được đặt trực tiếp lên kim loại hoặc một đế đơn giản để lắng đọng epiticular, vì nó liên quan đến nhiều yếu tố ảnh hưởng khác nhau như hướng dòng khí (ngang, dọc), nhiệt độ, áp suất, độ ổn định và loại bỏ chất gây ô nhiễm. Do đó, cần có một đế để đặt chất nền trước khi sử dụng công nghệ CVD để lắng đọng các lớp epitaxy trên chất nền. Cơ sở này được biết đến như mộtMáy thu than chì phủ SiC(còn gọi là đế/khay/giá đỡ).

Các chất nhạy cảm than chì được phủ SiC thường được sử dụng trong thiết bị lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD) để hỗ trợ và làm nóng các chất nền đơn tinh thể. Độ ổn định nhiệt và tính đồng nhất của chất nhạy cảm than chì được phủ SiC đóng vai trò quan trọng trong việc xác định chất lượng tăng trưởng vật liệu epiticular, khiến chúng trở thành thành phần quan trọng của thiết bị MOCVD.

Công nghệ MOCVD hiện là kỹ thuật chủ đạo để phát triển epitaxy màng mỏng GaN trong sản xuất đèn LED xanh. Nó mang lại những ưu điểm như vận hành đơn giản, tốc độ tăng trưởng có thể kiểm soát và độ tinh khiết cao của màng mỏng GaN được sản xuất. Các chất nhạy cảm được sử dụng cho sự tăng trưởng epiticular màng mỏng GaN, là thành phần quan trọng bên trong buồng phản ứng của thiết bị MOCVD, cần có khả năng chịu nhiệt độ cao, độ dẫn nhiệt đồng đều, ổn định hóa học tốt và khả năng chống sốc nhiệt mạnh. Vật liệu than chì có thể đáp ứng được những yêu cầu này.

Chất nhạy cảm than chì là một trong những thành phần cốt lõi trong thiết bị MOCVD và đóng vai trò là chất mang và bộ phát nhiệt cho các tấm nền, ảnh hưởng trực tiếp đến tính đồng nhất và độ tinh khiết của vật liệu màng mỏng. Do đó, chất lượng của chúng ảnh hưởng trực tiếp đến việc chuẩn bị Epi-Wafers. Tuy nhiên, trong quá trình sản xuất, than chì có thể bị ăn mòn và phân hủy do sự có mặt của các khí ăn mòn và các hợp chất hữu cơ kim loại còn sót lại, làm giảm đáng kể tuổi thọ của các chất nhạy cảm với than chì. Ngoài ra, bột than chì rơi xuống có thể gây ô nhiễm cho chip.

Sự xuất hiện của công nghệ phủ mang lại giải pháp cho vấn đề này bằng cách cung cấp khả năng cố định bột bề mặt, tăng cường độ dẫn nhiệt và phân bổ nhiệt cân bằng. Lớp phủ trên bề mặt của chất nhạy cảm than chì được sử dụng trong môi trường thiết bị MOCVD phải có các đặc điểm sau:

1. Khả năng bao bọc hoàn toàn đế than chì với độ dày đặc tốt, vì chất nhạy cảm với than chì dễ bị ăn mòn trong môi trường khí ăn mòn.

2. Liên kết chặt chẽ với chất nhạy cảm than chì để đảm bảo lớp phủ không dễ dàng bong ra sau nhiều chu kỳ nhiệt độ cao và nhiệt độ thấp.

3. Độ ổn định hóa học tuyệt vời để ngăn chặn lớp phủ trở nên kém hiệu quả trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn. SiC sở hữu những ưu điểm như chống ăn mòn, độ dẫn nhiệt cao, khả năng chống sốc nhiệt và độ ổn định hóa học cao, khiến nó trở nên lý tưởng để làm việc trong môi trường epiticular GaN. Hơn nữa, hệ số giãn nở nhiệt của SiC rất gần với hệ số giãn nở nhiệt của than chì, khiến nó trở thành vật liệu được ưa chuộng để phủ lên bề mặt các chất nhạy cảm với than chì.

Semicorex chế tạo các bộ phận cảm biến than chì được phủ CVD SiC, sản xuất các bộ phận SiC tùy chỉnh, chẳng hạn như thuyền bán dẫn, mái chèo đúc hẫng, ống, v.v. Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc nào hoặc cần thêm chi tiết, vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Số điện thoại liên hệ +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com