Chuck gốm vi mô

Đầu cặp gốm vi xốp Semicorex là thành phần chính trong việc xử lý tấm bán dẫn trong chất bán dẫn. Là bộ phận cốt lõi của mâm cặp gốm vi xốp, các lỗ của gốm vi xốp thường cực kỳ nhỏ, độ xốp yêu cầu khoảng 30% ~ 50%. Đường kính của lỗ phải ở mức vi mô, thậm chí ở mức nano. Nó có thể đảm bảo phôi được gắn chắc chắn trên mâm cặp chân không, ngăn ngừa các tác nhân xấu như trầy xước bề mặt, vết lõm, v.v. do áp suất âm. Trong khi đó, khi sử dụng mâm cặp chân không Alumina trong quá trình quang khắc của linh kiện điện tử, nó thường yêu cầu độ xốpgốm nhômmâm cặp có màu đen để tránh nhiễu do ánh sáng lạc phản xạ từ mâm cặp.

Bởi vì cấu trúc củanhômMâm cặp chân không tương đối đơn giản, chi phí sản xuất và bảo trì thấp, lực hấp phụ cũng tương đối dễ điều chỉnh, tấm wafer có thể ổn định và cố định tuyệt đối trong quá trình xử lý bằng cách điều chỉnh trạng thái làm việc của bơm chân không hoặc khoảng cách giữa các mâm cặp. Tuy nhiên, khi wafer được xử lý trong môi trường chân không hoặc áp suất thấp như lắng đọng hơi hóa học, mâm cặp chân không dựa vào chênh lệch áp suất không thể hoạt động, điều này hạn chế các ứng dụng của nó. Ngoài ra, khi wafer bị hấp thụ trên bề mặt mâm cặp gốm vi xốp sẽ bị biến dạng do áp suất không khí, sau đó wafer có thể bật trở lại sau khi xử lý, dẫn đến bề mặt gợn sóng trên bề mặt cắt, giảm độ phẳng bề mặt và ảnh hưởng đến độ chính xác xử lý. Vì vậy, mâm cặp gốm vi xốp thường được sử dụng để cố định hoặc mang một số bộ phận phẳng và kín tốt, chẳng hạn như tấm kim loại. Và trong quá trình xử lý chất bán dẫn, nó thường được áp dụng ở quy trình cấp thấp.

Đầu cặp gốm vi xốp Semicorex là bộ phận giữ chân không có độ chính xác cao được thiết kế cho các ứng dụng yêu cầu lực kẹp đồng đều, độ phẳng tuyệt vời và vận hành không bị nhiễm bẩn. Được phát triển dành cho các nhà sản xuất thiết bị OEM và môi trường sản xuất tiên tiến, mâm cặp gốm Semicorex cung cấp khả năng cố định phôi ổn định và có thể lặp lại trong trường hợp các thiết kế mâm cặp cơ khí hoặc mâm cặp chân không thông thường không đủ.

Các tính năng hiệu suất chính

Phân bố chân không đồng đều trên toàn bộ bề mặt

Không giống như mâm cặp chân không thông thường dựa trên các lỗ chân không riêng biệt, mâm cặp gốm vi xốp Semicorex sử dụng cấu trúc vi xốp được liên kết hoàn toàn để phân phối chân không đều trên bề mặt mâm cặp.

Thiết kế này cung cấp:

Lực giữ đều trên toàn bộ diện tích tiếp xúc

Giảm ứng suất cục bộ và biến dạng phôi

Cải thiện độ ổn định cho chất nền mỏng, giòn hoặc linh hoạt

Do đó, những mâm cặp này đặc biệt thích hợp cho tấm silicon, tấm kính, nền sapphire, gốm sứ và vật liệu composite.

Độ phẳng cao và ổn định kích thước

Đầu cặp gốm vi xốp Semicorex được sản xuất bằng quy trình thiêu kết và hoàn thiện bề mặt chính xác để đạt được độ phẳng cao và độ ổn định kích thước lâu dài.

Độ phẳng điển hình có thể được kiểm soát trong phạm vi dung sai ở mức micron, tùy thuộc vào kích thước và ứng dụng

Độ giãn nở nhiệt thấp giảm thiểu biến dạng dưới sự dao động nhiệt độ

Điều này đảm bảo độ chính xác định vị nhất quán trong các quá trình mài, đánh bóng, kiểm tra và liên quan đến in thạch bản.

Hoạt động sạch sẽ, không có hạt

Vật liệu gốm tiên tiến vốn là phi kim loại, không từ tính và chống ăn mòn, khiến mâm cặp gốm vi xốp Semicorex phù hợp với môi trường sản xuất sạch sẽ và nhạy cảm.

Những ưu điểm chính bao gồm:

Không có ô nhiễm kim loại

Tạo hạt thấp

Khả năng tương thích với các ứng dụng phòng sạch

Những đặc tính này khiến chúng trở nên lý tưởng cho sản xuất chất bán dẫn, sản xuất linh kiện quang học và xử lý điện tử chính xác.

Ưu điểm về vật liệu & kết cấu

Cấu trúc gốm vi mô được kiểm soát

Kích thước lỗ và độ xốp của đầu cặp gốm vi xốp Semicorex được thiết kế cẩn thận để cân bằng tốc độ dòng chân không, lực giữ và độ bền cơ học.

Phân bố lỗ chân lông đồng đều hỗ trợ hiệu suất chân không ổn định

Cấu trúc vi mô giúp giảm tổn thất áp suất đột ngột trong quá trình vận hành

Độ tin cậy giữ được cải thiện so với mâm cặp chân không có lỗ khoan

Cấu trúc này đảm bảo hiệu suất mâm cặp ổn định trong quá trình hoạt động liên tục.

Ứng dụng điển hình

Đầu cặp gốm vi xốp Semicorex được sử dụng rộng rãi trong:

Mài và đánh bóng wafer bán dẫn

Gia công chất nền thủy tinh, sapphire và gốm

Sản xuất linh kiện quang học

Hệ thống gia công và đo lường chính xác

Hiệu suất ổn định và lặp lại khiến chúng rất phù hợp với dây chuyền sản xuất tự động, có độ chính xác cao.

Câu hỏi thường gặp – Đầu kẹp gốm siêu nhỏ Semicorex

Ưu điểm chính của mâm cặp gốm vi xốp là gì?

Nó cung cấp lực giữ chân không đồng đều trên toàn bộ bề mặt, giảm thiểu biến dạng và cải thiện độ ổn định của quy trình.

Đầu cặp gốm Semicorex có phù hợp với tấm wafer mỏng không?

Đúng. Chúng đặc biệt hiệu quả đối với các phôi mỏng, giòn hoặc linh hoạt đòi hỏi phải phân bổ áp suất đều.

Đầu cặp gốm vi xốp Semicorex có thể tùy chỉnh cho thiết bị OEM không?

Đúng. Kích thước, độ xốp và thông số kỹ thuật bề mặt có thể được điều chỉnh cho các ứng dụng dành riêng cho OEM.

Đầu cặp gốm xốp siêu nhỏ được bảo trì như thế nào?

Làm sạch thường xuyên thường là đủ. Cấu trúc gốm chống mài mòn, ăn mòn và suy thoái hóa học.