Ống dẫn hướng bên trong

Ống dẫn hướng bên trong Semicorex là một ống được thiết kế chính xácthành phần cacbon/cacbon (C/C)được thiết kế cho các ứng dụng trường nhiệt độ cao tiên tiến, đặc biệt là trong việc phát triển các tinh thể silicon có độ tinh khiết cao. Là một yếu tố quan trọng trong lò phát triển tinh thể, thành phần này đóng vai trò trung tâm trong việc định hình và ổn định gradient nhiệt, đảm bảo sự hình thành tinh thể tối ưu và chất lượng vật liệu ổn định.

Được sản xuất từ ​​hỗn hợp carbon được gia cố bằng sợi carbon mật độ cao, Ống dẫn hướng bên trong mang lại tính toàn vẹn cấu trúc đặc biệt và độ ổn định nhiệt trong các điều kiện khắc nghiệt. Với mật độ ≥1,35 g/cm³ và độ bền uốn ≥110 MPa, nó duy trì độ bền cơ học ngay cả khi tiếp xúc kéo dài với nhiệt độ cao. Những đặc tính này rất cần thiết trong sản xuất silicon cấp bán dẫn, trong đó ngay cả những biến động nhỏ trong điều kiện nhiệt cũng có thể ảnh hưởng đáng kể đến tính đồng nhất của tinh thể và tỷ lệ khuyết tật.

Chức năng cốt lõi: Điều khiển độ dốc chính xác

Vai trò chính của Ống dẫn hướng bên trong C/C là xây dựng trường nhiệt độ gradient chính xác. Trong quá trình phát triển tinh thể silicon, nó được đặt ngay phía trên khối nóng chảy để:

Dòng khí trực tiếp: Nó dẫn hướng dòng khí argon trơ, đảm bảo hơi silicon oxit (SiO) được cuốn đi một cách hiệu quả khỏi bề mặt tan chảy, ngăn ngừa ô nhiễm oxy trong tinh thể.

Che chắn nhiệt: Nó che chắn tinh thể đang phát triển khỏi bức xạ nhiệt trực tiếp từ thành nồi nấu kim loại, thiết lập gradient nhiệt độ dọc trục dốc cần thiết để kéo tinh thể chất lượng cao, tốc độ cao.

Hiệu quả năng lượng: Bằng cách tập trung nhiệt trong vùng nóng chảy và cách nhiệt các bộ phận phía trên lò, nó làm giảm đáng kể tổng mức tiêu thụ điện năng.

Thông số kỹ thuật & Chất liệu xuất sắc

Ống dẫn hướng bên trong của chúng tôi được sản xuất bằng mật độ caoVật liệu tổng hợp cacbon/cacbon, cung cấp một giải pháp thay thế vượt trội cho than chì truyền thống. Các đặc tính vật liệu được tối ưu hóa cho các điều kiện khắc nghiệt của lò chân không bán dẫn:

Mật độ: ≥ 1,35 g/cm³

Độ bền uốn: ≥ 110 MPa

Hệ số giãn nở nhiệt (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Độ dẫn nhiệt (Nhiệt độ phòng): ≤ 10 W/(m·K)

Ngành công nghiệp

Khi ngành chuyển sang kích thước wafer lớn hơn (300mm và 450mm), nhu cầu về trường nhiệt tăng theo cấp số nhân. Ống dẫn hướng bên trong của chúng tôi tương thích với các thương hiệu lò CZ lớn và có thể được tùy chỉnh về mặt hình học và lớp phủ.