Băng wafer ngang

Thuộc tính vật liệu

Băng cassette ngang Semicorex là một công cụ quan trọng trong ngành bán dẫn để bảo vệ và xử lý các tấm bán dẫn ở các giai đoạn sản xuất khác nhau. Thường được gọi là vật mang wafer, những băng cassette này được thiết kế để giữ và di chuyển một số tấm wafer có cùng kích thước. Chúng đảm bảo hiệu suất tuyệt vời trong nhiều điều kiện sản xuất khác nhau bằng cách đáp ứng các yêu cầu quy trình cụ thể, chẳng hạn như xử lý nhiệt và có sẵn ở nhiều loại vật liệu.

Lựa chọn vật liệu khác nhau

Băng wafer ngang có nhiều loại vật liệu hiệu suất cao để đáp ứng các yêu cầu đa dạng của chế tạo chất bán dẫn. Chúng mang lại khả năng kháng hóa chất và ổn định nhiệt vượt trội, bao gồm PVDF, ECTFE Halar, PFA Teflon và PTFE Teflon. Các lựa chọn thép không gỉ như 304L và 316 được khuyến nghị cho các ứng dụng cần tăng độ bền cơ học và khả năng chống ăn mòn. Polypropylen tự nhiên cũng được sử dụng vì đặc tính kinh tế và nhẹ, cho phép ứng dụng linh hoạt trong khi vẫn duy trì tính toàn vẹn của quy trình xử lý wafer.

Đặc điểm của thiết kế nâng cao

Với các đặc tính có thể được điều chỉnh để đáp ứng các yêu cầu vận hành nhất định, các băng wafer nằm ngang được chế tạo một cách tỉ mỉ. Chúng bao gồm các biên dạng mở bên, các điểm tiếp xúc với bề mặt, bước và khoảng cách của bề mặt cũng như các kích thước và hình dạng có thể thay đổi được. Khả năng thích ứng của chúng trong nhiều quy trình khác nhau được tăng lên nhờ tính linh hoạt trong định hướng chất nền và khả năng xử lý nhiều kích thước chất nền khác nhau. Hơn nữa, các tính năng tự động hóa và khả năng xử lý băng cassette, chẳng hạn như tay cầm có thể tháo rời để tăng cường sự thuận tiện, có thể được thêm vào các băng cassette này.

Ứng dụng

Trong sản xuất chất bán dẫn, việc sử dụng các băng cassette nằm ngang là điều cần thiết để đảm bảo việc xử lý các tấm bán dẫn an toàn và hiệu quả trong nhiều quy trình khác nhau.

Băng wafer ngang được làm bằng vật liệu chắc chắn, chất lượng cao và có khả năng bảo vệ mạnh mẽ chống lại hư hỏng vật lý và nhiễm bẩn, hai vấn đề chính trong cài đặt chất bán dẫn. Cấu trúc của các băng cassette bảo vệ các tấm bán dẫn mỏng manh trong quá trình bảo quản và vận chuyển bằng cách giảm tiếp xúc với bất kỳ chất gây ô nhiễm nào.

Cải thiện khả năng làm sạch và sấy khô

Kết quả giặt và sấy tốt hơn có thể thực hiện được nhờ diện tích mở lớn trong thiết kế các băng cassette nằm ngang. Đặc tính này rất quan trọng để duy trì độ sạch của tấm bán dẫn, giúp giảm khả năng xảy ra sai sót và cải thiện chất lượng của các thiết bị bán dẫn thành phẩm.

Hiệu quả của dòng chảy và xử lý hóa chất

Để giảm thiểu các điểm bẫy vật liệu và tối đa hóa động lực của dòng hóa chất, các băng wafer nằm ngang được thiết kế. Để cải thiện dòng hóa chất và đảm bảo bao phủ hoàn toàn cũng như xử lý hiệu quả trong bể hóa chất, một số tính năng bổ sung có thể được bổ sung.

Vận chuyển an toàn và sắp xếp các tấm wafer

Thiết kế Cassette ngang được đặc trưng bởi sự căn chỉnh wafer chính xác, đảm bảo rằng các wafer được duy trì chắc chắn ở vị trí trong quá trình vận chuyển. Điều này làm giảm khả năng bị vỡ hoặc sai lệch, có thể dẫn đến sai sót hoặc chậm trễ tốn kém trong quá trình thực hiện. Việc xử lý wafer phải được thực hiện một cách an toàn để duy trì tính toàn vẹn của quy trình sản xuất chất bán dẫn.

Hiệu quả trong quy trình làm việc và công thái học

Băng wafer ngang rất dễ sử dụng và hiệu quả nhờ thiết kế tiện dụng, giúp đơn giản hóa quy trình tải và dỡ hàng. Trong cài đặt phòng sạch, việc sử dụng đơn giản này giúp cải thiện hiệu quả quy trình làm việc, cho phép các quy trình hiệu quả hơn và thời gian xử lý ít hơn. Các nhà sản xuất chất bán dẫn có thể tăng hiệu quả và duy trì các tiêu chuẩn nghiêm ngặt về độ sạch bằng cách đơn giản hóa các quy trình này.