Các bộ phận làm nóng bằng than chì

Các bộ phận làm nóng Graphite Semicorex đã trở thành thành phần thiết yếu trong sản xuất chất bán dẫn, tạo ra môi trường nhiệt chính xác và được kiểm soát cần thiết cho quá trình xử lý wafer tiên tiến. Sự kết hợp độc đáo giữa các đặc tính vật liệu, tính linh hoạt trong thiết kế và lợi thế về hiệu suất khiến chúng trở nên lý tưởng để đáp ứng các nhu cầu nghiêm ngặt về chế tạo thiết bị bán dẫn thế hệ tiếp theo. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp các bộ phận làm nóng than chì hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.**

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

1. Kiểm soát nhiệt độ chính xác để nâng cao kết quả quy trình:

Các bộ phận làm nóng bằng than chì Semicorex, kết hợp với hệ thống kiểm soát nhiệt độ phức tạp, cho phép điều chỉnh nhiệt độ chặt chẽ và tăng nhiệt nhanh chóng, cho phép nhà sản xuất tinh chỉnh các thông số quy trình và đạt được kết quả tối ưu.

2. Tính đồng nhất và độ dẫn nhiệt vượt trội:

Các bộ phận làm nóng bằng than chì thể hiện tính đồng nhất đặc biệt trong cấu trúc làm nóng của chúng, đảm bảo phân bổ nhiệt đều trên toàn bộ bề mặt làm nóng. Điều này giúp loại bỏ các điểm nóng và độ dốc nhiệt độ có thể dẫn đến quá trình xử lý wafer không nhất quán, các biến thể trong quá trình lắng đọng màng hoặc các khiếm khuyết trong quá trình phát triển tinh thể. Và tính dẫn nhiệt tuyệt vời của chúng cho phép tạo và truyền nhiệt hiệu quả đến chất nền mục tiêu hoặc buồng xử lý, hiệu quả này giảm thiểu mức tiêu thụ năng lượng, giảm thời gian xử lý và góp phần tiết kiệm chi phí tổng thể.

3. Độ bền dưới áp lực nhiệt:

Sản xuất chất bán dẫn thường liên quan đến sự thay đổi nhiệt độ nhanh chóng và chu trình nhiệt cực độ. Các bộ phận làm nóng bằng than chì được thiết kế để chịu được những điều kiện khắt khe này, duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc của chúng ngay cả khi chịu áp lực nhiệt đáng kể. Sự mạnh mẽ này đảm bảo hiệu suất ổn định và kéo dài tuổi thọ hoạt động, giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động và giảm yêu cầu bảo trì.

4. Độ ổn định kích thước ở nhiệt độ cao:

Việc duy trì kích thước chính xác là rất quan trọng để định vị wafer và kiểm soát quy trình chính xác. Hệ số giãn nở nhiệt thấp của các bộ phận làm nóng bằng than chì đảm bảo sự thay đổi kích thước ở mức tối thiểu ngay cả ở nhiệt độ vận hành cao. Sự ổn định về kích thước này đảm bảo các kiểu gia nhiệt nhất quán, kiểm soát nhiệt độ chính xác và kết quả quá trình lặp lại.

5. Khả năng chống oxy hóa vượt trội:

Tiếp xúc với nhiệt độ cao và môi trường oxy hóa có thể làm giảm hiệu suất và tuổi thọ của các bộ phận làm nóng. Các bộ phận làm nóng bằng than chì thể hiện khả năng chống oxy hóa tuyệt vời, tạo thành lớp oxit bảo vệ ở nhiệt độ cao. Hàng rào thụ động tự nhiên này ngăn chặn quá trình oxy hóa và xuống cấp hơn nữa, đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy lâu dài trong môi trường xử lý chất bán dẫn đòi hỏi khắt khe.

6. Trơ trong quá trình hóa chất:

Chế tạo chất bán dẫn sử dụng nhiều loại khí và hóa chất phản ứng. Tính trơ hóa học vốn có của các bộ phận làm nóng than chì khiến chúng có khả năng chống ăn mòn và suy thoái cao do các chất khắc nghiệt này. Khả năng tương thích này đảm bảo tuổi thọ của nó và ngăn ngừa ô nhiễm các tấm bán dẫn nhạy cảm hoặc buồng xử lý.

7. Thiết kế phù hợp cho các ứng dụng cụ thể:

Các bộ phận làm nóng than chì Semicorex có thể được gia công chính xác thành các hình dạng và cấu hình phức tạp để đáp ứng các yêu cầu cụ thể của các quy trình bán dẫn khác nhau. Tính linh hoạt trong thiết kế này cho phép phân phối nhiệt tối ưu, các vùng gia nhiệt được nhắm mục tiêu và tích hợp vào các thiết bị xử lý đa dạng, bao gồm hệ thống ủ nhiệt nhanh, buồng lắng đọng hơi hóa chất và lò khuếch tán.