Lò sưởi than chì cho vùng nóng

Phân bố nhiệt độ đồng nhất:Máy sưởi than chì cho vùng nóng nổi tiếng với đặc tính gia nhiệt đồng đều, đạt được nhờ sự kết hợp giữa xử lý vật liệu tỉ mỉ và gia công chính xác. Tính đồng nhất này đảm bảo cấu hình nhiệt độ nhất quán trên toàn bộ bề mặt gia nhiệt, giảm thiểu độ dốc nhiệt có thể dẫn đến xử lý tấm bán dẫn không đồng đều, giảm hiệu suất và hiệu suất thiết bị không nhất quán.

Khả năng chống ăn mòn đặc biệt:Bộ gia nhiệt than chì cho vùng nóng thể hiện khả năng chống chịu vượt trội đối với nhiều loại khí và hóa chất ăn mòn thường gặp trong quá trình xử lý chất bán dẫn ở nhiệt độ cao. Tính trơ vốn có này đảm bảo tính ổn định và hiệu suất lâu dài của máy sưởi, giảm thiểu rủi ro ô nhiễm và kéo dài tuổi thọ hoạt động.

Khả năng chống oxy hóa vượt trội:Không giống như than chì thông thường, Lò sưởi than chì cho vùng nóng có khả năng chống oxy hóa vượt trội, ngay cả ở nhiệt độ cao. Đặc tính này rất quan trọng để duy trì tính toàn vẹn của bộ gia nhiệt và ngăn ngừa sự hình thành ô nhiễm hạt trong buồng xử lý.

Độ tinh khiết hóa học cực cao:Bộ gia nhiệt than chì cho vùng nóng được xử lý để đạt được mức độ tinh khiết cực cao, giảm thiểu nguy cơ đưa các chất gây ô nhiễm không mong muốn vào môi trường xử lý chất bán dẫn. Độ tinh khiết đặc biệt này rất cần thiết để duy trì tính toàn vẹn của vật liệu bán dẫn tinh tế và đảm bảo các đặc tính điện và quang mong muốn của các thiết bị được chế tạo.

Độ bền cơ học cao và ổn định:Bộ gia nhiệt than chì cho vùng nóng sở hữu độ bền cơ học vượt trội và độ ổn định kích thước ở nhiệt độ cao, cho phép chế tạo các bộ phận gia nhiệt chắc chắn có khả năng chịu được sự khắc nghiệt khi vận hành ở nhiệt độ cao, bao gồm cả chu kỳ nhiệt và ứng suất cơ học.