Điện cực than chì

Điện cực than chì Semicorex là thành phần than chì được sản xuất có độ tinh khiết cao, chính xác để sử dụng trong các ứng dụng nhiệt bán dẫn, trong đó độ dẫn điện, độ ổn định nhiệt và độ chính xác về kích thước là tối quan trọng. Trên thực tế, loại điện cực này được sử dụng trong các lò nung nhiệt độ cao, lò phản ứng epitaxy và buồng xử lý nhiệt, tạo điều kiện cho dòng điện dẫn, truyền nhiệt ổn định và ổn định trong điều kiện khắc nghiệt của nhiệt độ và không khí. Do độ tinh khiết cao, tính đồng nhất của cấu trúc rắn và tính chất cơ học cao của Điện cực than chì Semicorex, chúng có thể cung cấp hiệu suất nhiệt đáng tin cậy như các bộ phận làm nóng trong các ứng dụng bán dẫn đòi hỏi khắt khe

Điện cực than chì được sản xuất từ ​​vật liệu than chì hạt mịn chất lượng cao, mỗi loại được chế tạo bằng cách sử dụng trình tự ép đùn, cacbon hóa và than chì hóa ở nhiệt độ cao tiên tiến. Cấu trúc vi mô than chì được thiết kế để có điện trở suất xấp xỉ không đổi, độ dẫn nhiệt cao và độ ổn định cơ học. Sản phẩm cuối cùng là một dây dẫn nhiệt có độ tinh khiết cao, duy trì trạng thái vật lý và phân bố dòng điện đồng đều trong môi trường công suất cao cũng như sự biến động nhiệt độ nhanh chóng.

Hiệu suất cực cao trong của chúng tôithan chì

Than chì của chúng tôi đảm bảo tính đồng nhất hiệu suất vượt trội. Thứ nhất, trong quá trình cacbon hóa, lò nung của chúng tôi chỉ có 115 mét khối. Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi giám sát trường nhiệt độ của sản phẩm than chì ở các khu vực khác nhau của mỗi lò. Ở giai đoạn nhiệt độ thấp ban đầu (0-200°C), chúng tôi kiểm soát nhiệt độ trong phạm vi ±10°C và ở nhiệt độ cao (trên 600°C), trong phạm vi ±1°C. Chúng tôi không chỉ giám sát trường nhiệt độ giữa các hạt than chì khác nhau mà còn theo dõi nhiệt độ bề mặt và bên trong của từng mảnh than chì riêng lẻ, kiểm soát nó trong phạm vi ±3°C. Chúng tôi giám sát 8 điểm nhiệt độ trong mỗi lò cacbon hóa.

Thứ hai, trong quá trình đồ họa hóa, lấy mẻ 500 kg làm ví dụ, chúng tôi cũng giám sát 8 điểm nhiệt độ. Sau khi đồ họa hóa, chúng tôi lấy mẫu ngẫu nhiên và kiểm tra triệt tiêu 24 điểm dọc theo trục X, Y và Z để đảm bảo tính đồng nhất. Hầu hết các công ty trong ngành chỉ kiểm tra trục X, hoặc nhiều nhất là trục XY, trong đó các nhà sản xuất thông thường chỉ kiểm tra 6-8 điểm và những nhà sản xuất tốt hơn kiểm tra 12 điểm. Chúng tôi kiểm tra 24 điểm.

Trong trường nhiệt bán dẫn, Điện cực than chì là một bộ phận quan trọng của bộ phận gia nhiệt, hướng dòng điện vào vùng gia nhiệt và cho phép phân phối nhiệt độ có kiểm soát trong một quá trình cụ thể, chẳng hạn như quá trình oxy hóa, khuếch tán, LPCVD hoặc epitaxy. Điện cực than chì phải giữ vai trò hoạt động đáng tin cậy ở nhiệt độ trên 2000°C và làm như vậy đồng thời chống lại quá trình oxy hóa, cong vênh hoặc làm nhiễm bẩn khu vực gia nhiệt.

Điện cực than chì Semicorex có độ dẫn điện vượt trội, tạo điều kiện cung cấp điện hiệu quả với tổn thất tối thiểu và chúng có tính dẫn nhiệt tuyệt vời, cho phép truyền nhiệt nhanh chóng đồng đều trong lò. Sự kết hợp giữa độ giãn nở nhiệt thấp và độ bền cơ học cao giúp giảm biến dạng và nứt trong quá trình luân chuyển nhiệt, mang lại trạng thái ổn định trong thời gian sử dụng lâu dài. Mỗi điện cực được gia công với dung sai kích thước nghiêm ngặt và bề mặt hoàn thiện mịn để đảm bảo tiếp xúc ổn định và điện trở không đáng kể ở bề mặt tiếp xúc.

Với các yêu cầu cụ thể của quy trình bán dẫn, Semicorex có thể thiết kế các thiết kế điện cực tùy chỉnh để phù hợp với mọi cấu hình lò và thông số nguồn điện. Đường kính, chiều dài, loại kết nối hoặc bề mặt hoàn thiện khác nhau có thể được cung cấp. Khi cần thiết, vật liệu phủ, chẳng hạn như SiC hoặc cacbon nhiệt phân, có thể được sử dụng để hỗ trợ khả năng chống oxy hóa và tuổi thọ sử dụng trong môi trường có hàm lượng oxy cao hoặc khí phản ứng.

Độ tinh khiết cao củavật liệu than chìThứ hai, trong quá trình đồ họa hóa, lấy mẻ 500 kg làm ví dụ, chúng tôi cũng giám sát 8 điểm nhiệt độ. Sau khi đồ họa hóa, chúng tôi lấy mẫu ngẫu nhiên và kiểm tra triệt tiêu 24 điểm dọc theo trục X, Y và Z để đảm bảo tính đồng nhất. Hầu hết các công ty trong ngành chỉ kiểm tra trục X, hoặc nhiều nhất là trục XY, trong đó các nhà sản xuất thông thường chỉ kiểm tra 6-8 điểm và những nhà sản xuất tốt hơn kiểm tra 12 điểm. Chúng tôi kiểm tra 24 điểm.

Cho dù được sử dụng trong lò khuếch tán, lò phản ứng epiticular hay thiết bị xử lý nhiệt độ cao, Điện cực than chì Semicorex đều mang lại hiệu suất chưa từng có trong môi trường nhiệt đòi hỏi khắt khe nhất. Bằng cách kết hợp độ tinh khiết cao, hình học chính xác và xử lý vật liệu tiên tiến, Semicorex cung cấp giải pháp điện cực đảm bảo dẫn dòng điện ổn định, gia nhiệt ổn định và độ tin cậy vận hành lâu dài cần thiết cho sản xuất chất bán dẫn thế hệ tiếp theo.