Bệ thạch anh hợp nhất

Trong chế tạo chất bán dẫn, Bệ thạch anh hợp nhất đóng vai trò là cấu trúc hỗ trợ cho thuyền thạch anh, nơi giữ các tấm bán dẫn. Bằng cách duy trì nhiệt độ không đổi, nó giúp đạt được sự lắng đọng màng mỏng đồng đều, một yếu tố quan trọng đối với hiệu suất và độ tin cậy của các thiết bị bán dẫn. Bệ đảm bảo sự phân bố nhiệt và ánh sáng trong buồng xử lý đồng đều, nhờ đó nâng cao chất lượng tổng thể của quá trình lắng đọng.

Ưu điểm của vật liệu thạch anh hợp nhất

1. Chịu nhiệt độ cao

Bệ thạch anh hợp nhất tự hào có điểm làm mềm khoảng 1730°C, cho phép nó chịu được việc sử dụng kéo dài ở nhiệt độ từ 1100°C đến 1250°C. Hơn nữa, nó có thể chịu đựng được sự tiếp xúc ngắn hạn với nhiệt độ cao tới 1450°C.

2. Chống ăn mòn

Bệ thạch anh nung chảy trơ về mặt hóa học đối với hầu hết các axit, ngoại trừ axit hydrofluoric. Khả năng chống axit của nó vượt qua gốm sứ gấp 30 lần và thép không gỉ gấp 150 lần. Ở nhiệt độ cao, không có vật liệu nào khác có thể sánh được với độ ổn định hóa học của thạch anh nung chảy, khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng cho môi trường hóa học khắc nghiệt.

3. Ổn định nhiệt

Một trong những đặc điểm nổi bật của Bệ thạch anh hợp nhất là hệ số giãn nở nhiệt tối thiểu. Đặc tính này cho phép nó chịu được sự thay đổi nhiệt độ nghiêm trọng mà không bị nứt. Ví dụ, nó có thể được làm nóng nhanh chóng đến 1100°C và sau đó ngâm trong nước ở nhiệt độ phòng mà không bị hư hại—một đặc tính thiết yếu cho các quy trình sản xuất có áp lực cao.

Quy trình sản xuất

Quy trình sản xuất Bệ thạch anh hợp nhất được kiểm soát tỉ mỉ để đảm bảo tiêu chuẩn chất lượng cao nhất. Bệ được sản xuất thông qua quá trình ép nóng và hàn được thực hiện trong môi trường phòng sạch loại 10.000 trở lên. Làm sạch tiếp theo bằng nước siêu tinh khiết (18 MΩ)tiếp tục đảm bảo độ tinh khiết và hiệu suất của sản phẩm. Mỗi Bệ thạch anh hợp nhất đều trải qua quá trình kiểm tra, làm sạch và đóng gói nghiêm ngặt trong phòng sạch loại 1.000 trở lên để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về chế tạo chất bán dẫn.

Chất liệu thạch anh đục có độ tinh khiết cao

Để chặn nhiệt và ánh sáng một cách hiệu quả, Bệ thạch anh hợp nhất sử dụng vật liệu thạch anh mờ đục có độ tinh khiết cao. Các đặc tính độc đáo của vật liệu này nâng cao khả năng của bệ để duy trì nhiệt độ ổn định và đồng đều trong buồng xử lý, từ đó đảm bảo chất lượng ổn định của quá trình lắng đọng màng mỏng trên các tấm bán dẫn.

Phạm vi ứng dụng rộng rãi

Các đặc tính đặc biệt của Bệ thạch anh hợp nhất làm cho nó phù hợp với nhiều ứng dụng khác nhau trong ngành bán dẫn. Trong quy trình ALD, nó hỗ trợ kiểm soát chính xác sự phát triển màng mỏng ở cấp độ nguyên tử, cần thiết cho việc sản xuất các thiết bị bán dẫn tiên tiến. Trong quá trình LPCVD, khả năng chặn ánh sáng và ổn định nhiệt của bệ góp phần lắng đọng màng đồng đều, cải thiện hiệu suất và năng suất của thiết bị.

Trong các quá trình khuếch tán, khả năng chịu nhiệt độ cao và độ trơ hóa học của Bệ thạch anh hợp nhất đảm bảo sự pha tạp đáng tin cậy và nhất quán của vật liệu bán dẫn. Các quy trình này rất quan trọng để xác định các đặc tính điện của thiết bị bán dẫn và việc sử dụng vật liệu chất lượng cao như thạch anh nung chảy là điều cần thiết để đạt được kết quả tối ưu.