Ống lò thạch anh nung chảy Semicorex là thành phần thạch anh dạng ống quan trọng được triển khai rộng rãi trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn và quang điện tiên tiến. Được chế tạo tỉ mỉ từ vật liệu thạch anh có độ tinh khiết cao, ống lò thạch anh nung chảy Semicorex rất phù hợp với điều kiện làm việc ở nhiệt độ cao, áp suất cao và ăn mòn mạnh.
Hợp nhấtống lò thạch anhthường tạo thành khu vực xử lý nhiệt độ cao cho các tấm wafer cùng với các thành phần thiết yếu như thuyền thạch anh, lò phản ứng, lò sưởi và vách ngăn thạch anh. Trong quá trình sản xuất, các tấm bán dẫn được đặt trong các thuyền thạch anh và chuyển vào các ống lò để thực hiện các quá trình như khuếch tán, oxy hóa và ủ. Là phần quan trọng trong các quy trình này, ống lò thạch anh nung chảy ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng và năng suất của các sản phẩm bán dẫn hoặc quang điện.
Dựa vào hiệu suất và chất lượng đáng tin cậy, ống lò thạch anh nung chảy Semicorex có thể chịu được môi trường vận hành của các quy trình này trong thời gian dài. Sử dụng ống lò thạch anh nung chảy Semicorex có thể làm giảm đáng kể nguy cơ hư hỏng thành phẩm do biến dạng nghiêm trọng hoặc sập ống lò thạch anh sau khi sử dụng theo chu kỳ kéo dài.
Ưu điểm của ống lò thạch anh nung chảy Semicorex
1. Khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời
Thủy tinh thạch anhcó điểm mềm khoảng 1730°C. Ống lò thạch anh nung chảy Semicorex hỗ trợ hoạt động lâu dài ở nhiệt độ 1100°C-1200°C với khả năng chịu nhiệt độ cao hơn trong thời gian ngắn.
2. Độ ổn định nhiệt đáng chú ý
Vật liệu thạch anh cấp bán dẫn mang lại hệ số giãn nở nhiệt cực thấp, cho phép chúng được làm lạnh nhanh chóng từ nhiệt độ cao đến nhiệt độ phòng mà không bị nứt hoặc hư hỏng.
3. Chống ăn mòn hóa học mạnh
Ống lò thạch anh nung chảy Semicorex có khả năng chống ăn mòn hóa học mạnh mẽ. Ngoại trừ axit flohydric và axit photphoric nóng, chúng hầu như không phản ứng với các hóa chất khác như axit, kiềm, muối.
4. Độ truyền ánh sáng vượt trội
Thể hiện khả năng truyền ánh sáng tuyệt vời trên phổ tử ngoại đến hồng ngoại, thạch anh có độ tinh khiết cao đạt được độ truyền ánh sáng trên 93% trong phạm vi khả kiến. Hiệu suất quang học vượt trội này làm cho ống lò thạch anh nung chảy Semicorex trở thành lựa chọn phù hợp cho các quy trình yêu cầu giám sát quang học hoặc xử lý bằng tia cực tím.
Ứng dụng của ống lò thạch anh nung chảy Semicorex
1. Được sử dụng trong các quá trình khuếch tán, oxy hóa và ủ trong sản xuất chất bán dẫn
2. Được sử dụng trong bình phản ứng nhiệt độ cao trong sản xuất công nghiệp quang điện
3. Được sử dụng trong sản xuất cửa sổ quang phổ, ống bọc laser, hệ thống quang học tia cực tím và các ứng dụng quang học khác.