Bán chỉ thạch anh hợp nhất là các thùng chứa độ tinh khiết cao được thiết kế cho sự phát triển tinh thể bán dẫn, cung cấp độ ổn định nhiệt đặc biệt và khả năng chống ô nhiễm để sản xuất wafer không khuyết tật. Chọn Semicorex để kiểm soát độ tinh khiết vật liệu nghiêm ngặt, sản xuất chính xác và độ tin cậy đã được chứng minh trong các quy trình bán dẫn đòi hỏi khắt khe nhất thế giới.*
Các hình chữ thập thạch anh hợp nhất là vật dụng có giá trị được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, với độ tinh khiết đáng kể, độ ổn định nhiệt và cường độ cơ học trong môi trường nhiệt độ cực cao. Những loại cây trồng này được sản xuất từ cát silica có độ tinh khiết cao được hợp nhất với nhau bằng cách sử dụng một kỹ thuật nóng chảy được kiểm soát cao để đạt được mật độ cao nhất, với vật liệu chủ yếu là đồng nhất với các vùi hoặc bong bóng hạn chế trong cấu trúc của nó rất có thể tái sản xuất đối với các sản phẩm kéo lại và wafer. Những cây trồng này có mức độ ô nhiễm cực thấp khiến chúng trở nên lý tưởng cho các quy trình trong đó độ tinh khiết vật liệu ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất và hiệu suất của thiết bị.
Các cricbles thạch anh hợp nhất được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn cho phương pháp czochralski (CZ) của sự phát triển silicon tinh thể đơn. Các cây cẩm tẩm thạch anh hợp nhất có điện trở nhiệt cao cho phép chúng chịu được nhiệt độ để làm tan chảy polysilicon thường cao hơn 1400 ° C. Ngoài ra, các hình chữ tư thạch anh hợp nhất là trơ hóa học và sẽ không phản ứng với polysilicon theo cách ảnh hưởng đến độ tinh khiết của silicon. Các cây cẩm thạch thạch anh hợp nhất có thể trải qua chu kỳ nhiệt rất đáng kể mà không mất tính toàn vẹn cấu trúc và điều này có thể cung cấp một tình trạng ổn định cho sự phát triển của hạt giống thành cấu trúc tinh thể, do đó đạt được tính đồng nhất cần thiết trong các wafer bán dẫn.
CácQuartz hợp nhấtTính chất quang học và đặc tính cơ học mang lại lợi thế duy nhất trong cài đặt bán dẫn. Hệ số giãn nở nhiệt thấp sẽ giảm thiểu sốc nhiệt và không nhất quán kích thước trong khi độ dẫn nhiệt thấp sẽ hỗ trợ bảo tồn độ dốc nhiệt độ trong lò tăng trưởng tinh thể so với tinh thể. Bề mặt bên trong của nồi nấu kim loại quá khứ mịn màng sẽ giảm thiểu việc tạo hạt và sẽ thúc đẩy hành vi tan chảy đồng đều sẽ bảo vệ hơn nữa độ tinh khiết của tinh thể được phát triển.
Các quy trình sản xuất được sử dụng để đảm bảo mỗi hình dạng Crucible Quartz hợp nhất bao gồm các dung sai kích thước nghiêm ngặt và chất lượng bề mặt. Việc lựa chọn các nguyên liệu thô được sàng lọc để loại bỏ các chất gây ô nhiễm kim loại, tan chảy diễn ra trong một môi trường chuyên dụng phủ nhận khí quyển khí quyển và/hoặc ô nhiễm hạt. Dựa trên ứng dụng bán dẫn, các hình chữ thập có thể được thực hiện trong một số đường kính và độ dày thành, từ các nghiên cứu nhỏ, đến các hình chữ thập đường kính lớn có khả năng sản xuất 300 mm.
Mặc dù các tính chất độc đáo của một chiếc nồi nấu kim loại thạch anh hợp nhất đã cải thiện độ bền và hiệu suất, có thể sử dụng các phương pháp điều trị bề mặt chuyên dụng bổ sung hoặc lớp phủ khi cần thiết. Ví dụ, một số quy trình sẽ liên quan đến các lớp lớp silicon bên trong để cải thiện tuổi thọ của nồi nấu kim loại hoặc để giảm thiểu hơn nữa lượng oxy đến silicon nóng chảy. Những cải tiến này giúp hiệu quả của sản xuất chất bán dẫn nếu quá trình sử dụng nồi nấu kim loại thạch anh, bởi vì nó làm giảm tần suất thay thế và dẫn đến năng suất tinh thể lớn hơn.
Các cruccibles thạch anh hợp nhất cũng có vai trò trong nghiên cứu và phát triển các quy trình mới trong ngành công nghiệp bán dẫn. Khả năng thích ứng của nó mang lại cho các kỹ sư khả năng khám phá các kỹ thuật phát triển tinh thể thay thế, công nghệ doping vật liệu hoặc vật liệu bán dẫn mới bên ngoài silicon, như gallium arsenide hoặc silicon cacbua. Khả năng của Impress Crucible để chịu được các điều kiện hóa học và nhiệt cực đoan mang lại cho các kỹ sư sự đảm bảo cuối cùng trong cả sản xuất hàng loạt và chế tạo thử nghiệm.
Semicorex hợp nhấtQuartzCây cua đã trở thành công cụ quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn ngày nay, có độ tinh khiết cao, tính chất nhiệt vượt trội và sự ổn định cấu trúc đáng kinh ngạc liên quan đến các tiêu chuẩn nghiêm ngặt nhất của ngành. Do đó, khả năng tạo ra các tấm bán dẫn miễn phí và hiệu suất cao ảnh hưởng trực tiếp đến độ tin cậy và hiệu suất của các thiết bị điện tử trên toàn cầu.