Kẹp ESC

Semicorex ESC Chuck sử dụng lực tĩnh điện để duy trì khả năng kiểm soát chính xác vị trí của tấm bán dẫn, đảm bảo độ chính xác cao và khả năng lặp lại trong môi trường sản xuất chất bán dẫn. Thiết kế của mâm cặp ESC, cùng với khả năng lựa chọn vật liệu chắc chắn và kích thước có thể tùy chỉnh, khiến nó trở thành một công cụ linh hoạt và cần thiết trong các quy trình như khắc axit, lắng đọng và cấy ion.

Đầu cặp ESC hoạt động bằng cách tác dụng một trường tĩnh điện cao áp giữa các điện cực của đầu cặp và tấm bán dẫn, tạo ra một lực hấp dẫn giữ tấm bán dẫn ở đúng vị trí. Tấm wafer, thường được làm bằng silicon hoặc cacbua silic, được giữ chặt bằng lực này, cho phép vận hành chính xác trong môi trường chân không cao. Hệ thống này loại bỏ nhu cầu kẹp cơ học hoặc kẹp chân không, những việc có thể gây ra chất gây ô nhiễm hoặc làm biến dạng tấm bán dẫn. Bằng cách sử dụng mâm cặp ESC, nhà sản xuất có thể đạt được môi trường sạch hơn, ổn định hơn cho các quy trình chế tạo tinh vi, dẫn đến năng suất cao hơn và kết quả ổn định hơn.

Một trong những ưu điểm chính của công nghệ ESC là khả năng duy trì độ bám chắc chắn trên tấm bán dẫn trong khi phân bổ lực đều trên bề mặt của nó. Điều này đảm bảo rằng tấm bán dẫn vẫn phẳng và ổn định, điều này rất quan trọng để đạt được sự ăn mòn hoặc lắng đọng đồng nhất, đặc biệt là trong các quy trình đòi hỏi độ chính xác dưới micromet. Kích thước có thể tùy chỉnh của mâm cặp ESC cho phép nó chứa các tấm bán dẫn có kích thước khác nhau, từ tấm bán dẫn 200mm và 300mm tiêu chuẩn đến các kích thước chuyên dụng, phi tiêu chuẩn được sử dụng trong nghiên cứu và phát triển hoặc sản xuất các thiết bị bán dẫn thích hợp.

Vật liệu sử dụng trong cấu tạo mâm cặp ESC được lựa chọn cẩn thận để đảm bảo khả năng tương thích với các môi trường khắc nghiệt thường thấy trong xử lý chất bán dẫn. Alumina gốm có độ tinh khiết cao được sử dụng do đặc tính cách điện tuyệt vời, ổn định nhiệt và khả năng chống ăn mòn plasma. Những đặc tính này cho phép mâm cặp hoạt động hiệu quả trong cả điều kiện nhiệt độ cao và chân không cao, mang lại độ bền và độ tin cậy cần thiết để sử dụng lâu dài trong môi trường phòng sạch.

Tùy chỉnh là một lợi ích đáng kể khác của mâm cặp ESC. Tùy thuộc vào các yêu cầu cụ thể của quy trình chế tạo chất bán dẫn, kích thước, cấu hình điện cực và thành phần vật liệu của mâm cặp có thể được điều chỉnh để đáp ứng các nhu cầu riêng của thiết bị và tấm bán dẫn đang được xử lý. Cho dù ứng dụng liên quan đến khắc plasma, lắng đọng hơi hóa học (CVD) hay lắng đọng hơi vật lý (PVD), mâm cặp ESC đều có thể được thiết kế để tối ưu hóa hiệu suất và duy trì tính toàn vẹn của tấm bán dẫn trong quá trình xử lý.