Đầu kẹp tĩnh điện

Semicorex Electrostatic Chuck (ESC) là một thành phần tiên tiến được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, được thiết kế để giữ chắc chắn các tấm bán dẫn trong các giai đoạn xử lý khác nhau. Với cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng hàng đầu với giá cả cạnh tranh, chúng tôi sẵn sàng trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.*

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Bằng cách sử dụng gốm alumina có độ tinh khiết cao, Đầu kẹp tĩnh điện Semicorex mang lại hiệu suất vượt trội trong các cài đặt ưu tiên độ chính xác, ổn định và sạch sẽ. Alumina hay còn gọi là nhôm oxit (Al2O3) là vật liệu gốm sứ nổi tiếng với đặc tính cách điện đặc biệt, độ dẫn nhiệt cao và độ bền cơ học vượt trội. Những đặc tính này làm cho nó trở thành vật liệu lý tưởng để chế tạo mâm cặp tĩnh điện, được thiết kế để chịu được các điều kiện khắt khe của quá trình xử lý chất bán dẫn. ESC gốm alumina được thiết kế để chịu được nhiệt độ cao, môi trường ăn mòn và ứng suất cơ học trong quá trình xử lý và xử lý tấm bán dẫn, đóng vai trò quan trọng trong việc đảm bảo năng suất và chất lượng của các thiết bị bán dẫn.

Nguyên lý cơ bản của Kẹp tĩnh điện là lực tĩnh điện, được sử dụng để giữ tấm wafer cố định một cách an toàn. Lực này được tạo ra bằng cách đặt một điện áp vào các điện cực được gắn bên trong vật liệu gốm. Sự tương tác giữa trường tĩnh điện và các điện tích cảm ứng trên bề mặt wafer tạo ra một lực kẹp mạnh giữ wafer bám vào bề mặt mâm cặp. Thiết kế của ESC gốm alumina đảm bảo lực kẹp này được phân bổ đều trên tấm bán dẫn, giảm thiểu nguy cơ trượt hoặc hư hỏng trong quá trình xử lý.

Một trong những ưu điểm chính của việc sử dụng gốm alumina trong cấu trúc Kẹp tĩnh điện là đặc tính cách điện đặc biệt của nó. Độ bền điện môi cao của Alumina cho phép ứng dụng điện áp cao mà không có nguy cơ đánh thủng điện, điều này rất quan trọng để duy trì tính toàn vẹn của trường tĩnh điện. Điều này đặc biệt quan trọng trong các quá trình như khắc plasma hoặc lắng đọng hơi hóa học, trong đó tấm bán dẫn tiếp xúc với môi trường có tính phản ứng cao và bất kỳ sự thay đổi nào về lực kẹp đều có thể dẫn đến khuyết tật hoặc hư hỏng tấm bán dẫn.

Ngoài các đặc tính điện, gốm alumina còn thể hiện tính dẫn nhiệt tuyệt vời, cần thiết để quản lý nhiệt sinh ra trong quá trình xử lý chất bán dẫn. Khả năng tản nhiệt hiệu quả của Kẹp tĩnh điện giúp duy trì nhiệt độ ổn định trên tấm bán dẫn, giảm độ dốc nhiệt có thể dẫn đến cong vênh hoặc các dạng ứng suất nhiệt khác. Độ ổn định nhiệt này rất quan trọng trong việc đảm bảo độ chính xác và độ lặp lại của các quy trình như quang khắc, trong đó ngay cả những sai lệch nhiệt độ nhỏ cũng có thể ảnh hưởng đến kết quả.