Khay hỗ trợ nồi nấu kim loại

Trong sản xuất chất bán dẫn ở nhiệt độ cao, độ ổn định và độ chính xác là rất quan trọng để đảm bảo chất lượng tinh thể ổn định. Khay hỗ trợ nồi nấu kim loại Semicorex đóng một vai trò quan trọng nhưng thường bị bỏ qua trong việc duy trì tính toàn vẹn của quá trình phát triển tinh thể bằng cách cung cấp nền tảng đáng tin cậy trong các điều kiện cơ học và nhiệt độ khắc nghiệt.

Khay đỡ nồi nấu kim loại, còn được gọi là khaycacbon/cacbon (C/C)giá đỡ nồi nấu kim loại, được thiết kế đặc biệt để hỗ trợ nồi nấu kim loại thạch anh hoặc than chì trong quá trình phát triển silicon đơn tinh thể. Được đặt ở đáy của trường nhiệt, thành phần này phải chịu được sự tiếp xúc kéo dài với nhiệt độ cao trong khi vẫn duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc và độ ổn định về kích thước. Thiết kế chắc chắn của nó đảm bảo rằng chén nung vẫn được đặt ở vị trí an toàn trong suốt quá trình, giảm thiểu độ rung, biến dạng hoặc sai lệch có thể ảnh hưởng tiêu cực đến chất lượng tinh thể.

Vai trò của khay đỡ C/C

Trong quá trình phát triển của silicon đơn tinh thể, nhiệt độ thường vượt quá 1400°C. Các vật liệu than chì truyền thống tuy hữu ích nhưng thường phải đối mặt với những thách thức về tuổi thọ và biến dạng dưới trọng lượng nặng của silicon nóng chảy. Khay hỗ trợ nồi nấu bằng composite C/C của chúng tôi giải quyết những vấn đề khó khăn này.

Bằng cách sử dụng ma trận gia cố bằng sợi carbon cường độ cao, khay này mang lại cấu hình giãn nở nhiệt "gần như bằng 0" và khả năng chịu tải đặc biệt. Nó đóng vai trò là bề mặt tiếp xúc giữa nồi nấu kim loại và trục quay, duy trì mặt phẳng cân bằng hoàn hảo để ngăn chặn sự hỗn loạn tan chảy và các khuyết tật về tinh thể.

Thông số kỹ thuật & Chất liệu xuất sắc

Mật độ: ≥ 1,3 g/cm³

Độ bền uốn: ≥ 110 MPa

Hệ số giãn nở nhiệt (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Cường độ nén: ≥ 160 MPa