Tay cầm Cassette Semicorex được làm bằng PFA và PTFE đảm bảo chuyển động an toàn và hiệu quả của băng wafer trong xử lý chất bán dẫn. Chọn Semicorex để có tay cầm bền, hiệu suất cao, có khả năng kháng hóa chất và ổn định nhiệt vượt trội, đảm bảo hiệu quả sản xuất và bảo vệ tấm bán dẫn tối ưu.*
Tay cầm Cassette Semicorex là phụ kiện quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, cho phép xử lý băng cassette an toàn và hiệu quả trong các giai đoạn xử lý wafer khác nhau. Được làm từ vật liệu chất lượng cao như PFA (Perfluoroalkoxy alkane) và PTFE (Polytetrafluoroethylene), những tay cầm Cassette này được thiết kế đặc biệt để đảm bảo cả sự an toàn và hiệu suất trong những môi trường đòi hỏi độ sạch cao, khả năng kháng hóa chất và độ ổn định nhiệt.
Trong chế tạo chất bán dẫn, băng cassette được sử dụng để giữ các tấm wafer khi chúng trải qua các giai đoạn khác nhau, bao gồm ăn mòn, lắng đọng, làm sạch và xử lý nhiệt. Tay cầm cassette đóng vai trò là giao diện chính để các kỹ thuật viên và hệ thống tự động nắm bắt và vận chuyển các băng cassette này một cách an toàn giữa các quy trình. Cho dù băng cassette đang được di chuyển bằng tay hay thông qua hệ thống robot, những tay cầm này cho phép ngâm an toàn vào buồng, lò nướng hoặc bể hóa chất, đảm bảo rằng các tấm bán dẫn không bị hư hỏng hoặc nhiễm bẩn trong quá trình chuyển đổi quan trọng.
Bởi vì quá trình xử lý chất bán dẫn thường liên quan đến các tấm bán dẫn mỏng manh và các hóa chất mạnh nên chất lượng và thiết kế của tay cầm cassette đóng vai trò then chốt trong việc duy trì tính toàn vẹn của toàn bộ quy trình sản xuất.
Tính chất vật liệu: PFA và PTFE
Việc lựa chọn vật liệu làm tay cầm cassette là chìa khóa cho hiệu suất của chúng trong điều kiện khắc nghiệt. PFA và PTFE đều là fluoropolyme, được biết đến với khả năng kháng hóa chất và ổn định nhiệt tuyệt vời, khiến chúng trở nên lý tưởng cho môi trường bán dẫn.
PFA (Perfluoroalkoxy alkane): Vật liệu này được công nhận rộng rãi vì tính linh hoạt và độ bền. PFA có thể chịu được nhiệt độ lên tới 260°C (500°F) mà không bị phân hủy, khiến nó phù hợp để sử dụng trong các buồng xử lý nhiệt độ cao. Đặc tính chống dính của nó cũng ngăn chặn vật liệu bám dính vào bề mặt, làm giảm hơn nữa nguy cơ ô nhiễm. Hơn nữa, tính trơ hóa học của PFA giúp nó có khả năng chống lại axit mạnh, kiềm và dung môi hữu cơ thường được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn.
PTFE (Polytetrafluoroethylene): Được biết đến với hệ số ma sát thấp và khả năng không phản ứng vượt trội, PTFE là một lựa chọn vật liệu tuyệt vời khác cho tay cầm cassette. PTFE có khả năng chống ăn mòn cao và có thể chịu được nhiệt độ lên tới 260°C. Khả năng chống lại sự tấn công hóa học cao của nó đảm bảo rằng nó vẫn ổn định và hiệu quả, ngay cả khi có hóa chất ăn mòn hoặc trong thời gian ngâm lâu. Bề mặt nhẵn và đặc tính ma sát thấp của PTFE cũng góp phần giúp xử lý dễ dàng và an toàn các băng wafer.
Cả hai vật liệu đều có mức độ sạch vượt trội, điều này rất cần thiết trong việc ngăn ngừa ô nhiễm hạt trong môi trường phòng sạch bán dẫn.
Tay cầm Cassette Semicorex, mặc dù là một bộ phận nhỏ của quy trình sản xuất chất bán dẫn, đóng vai trò quan trọng trong việc đảm bảo xử lý băng cassette an toàn, hiệu quả và không bị nhiễm bẩn. Được làm từ các vật liệu hiệu suất cao như PFA và PTFE, những tay cầm này có khả năng kháng hóa chất đặc biệt, ổn định nhiệt và độ bền. Bằng cách chọn tay cầm cassette chất lượng cao, các nhà sản xuất chất bán dẫn có thể tối ưu hóa quy trình làm việc của họ, giảm rủi ro ô nhiễm và đảm bảo an toàn cho người vận hành cũng như thiết bị.