Đầu cặp alumina có rãnh hình khuyên Semicorex, được thiết kế đặc biệt cho các hệ thống hấp phụ và cố định tấm bán dẫn có độ chính xác cao, là bộ phận kẹp chân không hiệu suất cao được sử dụng để sản xuất tấm bán dẫn cao cấp. Lựa chọn Semicorex, lựa chọn giải pháp kẹp wafer tối ưu.
Đầu cặp alumina có rãnh hình khuyên Semicorex sử dụng cấu trúc bề mặt bao gồm một loạt nhiều rãnh hình khuyên đồng tâm. Khi được kết nối với bơm chân không, các rãnh này tạo thành các vùng áp suất âm hình vòng để giữ ổn định các tấm wafer và phôi mỏng với vị trí chính xác. Đầu cặp alumina có rãnh hình khuyên Semicorex hoạt động tốt trong các điều kiện làm việc yêu cầu quản lý độ phẳng nghiêm ngặt và lực hấp phụ phân bổ đều, được ứng dụng rộng rãi trong việc giữ tấm bán dẫn, định vị phơi sáng, khắc plasma cũng như các quá trình kiểm tra và chuyển giao tấm bán dẫn.
Gốm Alumina được chế tạo bằng phương pháp thiêu kết đậm đặc thể hiện hiệu suất nhiệt vượt trội. Nhờ đặc tính vật liệu này, mâm cặp alumina có rãnh hình khuyên Semicorex hoạt động ổn định trong môi trường làm việc ở nhiệt độ cực cao mà không bị biến dạng cấu trúc và suy giảm hiệu suất khi sử dụng lâu dài.
Semicorex có rãnh hình khuyênmâm cặp nhômcó nhiều rãnh hình khuyên trên bề mặt hấp phụ của chúng, trong đó các vùng chân không hình vòng ổn định được hình thành. Cấu hình này cho phép lực hấp phụ nhất quán trên các vùng tiếp xúc chính của tấm bán dẫn, do đó làm giảm đáng kể sự biến dạng và cong vênh một phần của tấm bán dẫn.
Tự hào về độ cứng vật liệu vượt trội và độ ổn định về cấu trúc, mâm cặp alumina có rãnh hình khuyên Semicorex có thể duy trì độ phẳng tuyệt vời và độ chính xác định vị nhất quán trong quá trình kẹp chân không lặp đi lặp lại trong thời gian dài.
Bởi vìnhômVới độ ổn định hóa học đáng tin cậy, mâm cặp alumina có rãnh hình khuyên của Semicorex có khả năng chống chịu vượt trội với hầu hết các chất axit và kiềm, cũng như các loại khí xử lý ăn mòn khác nhau và có khả năng thích ứng cao với các điều kiện vận hành ăn mòn đầy thách thức.
Nhờ kiểm soát độ tinh khiết vật liệu và xử lý mật độ nghiêm ngặt, mâm cặp alumina có rãnh hình khuyên Semicorex hiếm khi rơi ra các hạt hoặc giải phóng tạp chất trong quá trình sử dụng, đáp ứng đầy đủ các tiêu chuẩn nghiêm ngặt về mức độ ô nhiễm thấp trong phòng sạch bán dẫn.
Là công ty dẫn đầu ngành tại Trung Quốc, Semicorex được hỗ trợ bởi dây chuyền sản xuất tích hợp và đội ngũ kỹ thuật giàu kinh nghiệm. Chúng tôi có thể cung cấp hỗ trợ kỹ thuật phù hợp và các giải pháp quy trình tối ưu hóa cho khách hàng của mình và cung cấp cho họ quy trình sản xuất tùy chỉnh phi tiêu chuẩn đối với mâm cặp alumina có rãnh hình khuyên về độ tinh khiết vật liệu, hình dạng, kích thước, độ phẳng, dung sai và các yêu cầu khác của mâm cặp.