ALUMINA ROBOT ARM

Semicorex Alumina Robot Arm là một bộ phận gốm hiệu suất cao được thiết kế để xử lý wafer và các nhiệm vụ chuyển giao trong sản xuất chất bán dẫn. Được làm từ gốm alumina tinh khiết cao (Al₂O₃), cánh tay robot này mang lại sự linh hoạt, độ chính xác, độ tin cậy và độ bền trong các phòng sạch.

Điều nổi bật có lợi cho cánh tay robot alumina là các thuộc tính củaAlumina gốmsức mạnh cơ học và độ cứng. BẰNGAluminađược làm tinh khiết hơn, alumina duy trì tính toàn vẹn cấu trúc tốt hơn và làm cho nó chống lại sự hao mòn và biến dạng cơ học hơn. Là một vật liệu, alumina là một lựa chọn tuyệt vời cho các bộ phận robot được sử dụng trong các nhiệm vụ xử lý wafer tinh tế và lặp đi lặp lại, tức là khi một cánh tay robot cần thực hiện cùng một chức năng và tiếp xúc với các tấm wafer, sự biến dạng nhỏ đó được áp dụng cho wafer bởi cánh tay robot có thể tiêu tốn một tổn thất về năng suất cơ sở. Độ cứng cao, tức là các bề mặt cứng nhắc, có thể giúp chống mài mòn và tuổi thọ chức năng, tức là kéo dài tuổi thọ và thời gian phục vụ/ thay thế trên một thành phần robot.

Ngoài độ bền cơ học của nó, cánh tay robot alumina cũng là một chất cách điện tuyệt vời. Điện trở suất lên tới 10⁵ · · cm và cường độ cách nhiệt lên tới 15 kV/mm ở nhiệt độ phòng, cung cấp môi trường an toàn hơn nhiều để vận hành, đặc biệt là khi can thiệp tín hiệu điện phải giảm trong thiết bị xử lý. Điều này trở nên quan trọng khi bảo vệ các thành phần bán dẫn nhạy cảm chuyển giữa các quá trình với nguy cơ thiệt hại tối thiểu về phóng điện tĩnh điện (ESD).

Gốm alumina là tuyệt vời trong việc duy trì sự ổn định trên nhiệt độ rất cao. Điểm nóng chảy là khoảng 2050 ° C và sẽ chịu được nhiệt độ cao trong xử lý nhiệt chất bán dẫn mà không bị cong vênh hoặc chính xác chiều. Điện trở nhiệt cao cho phép sử dụng cánh tay trong các quá trình như ủ nhiệt nhanh (RTA) hoặc lắng đọng hơi hóa học (CVD), trong đó sự liên kết chính xác và độ ổn định nhiệt là rất quan trọng.

Một trong những lợi ích quan trọng khác của cánh tay robot alumina là sự trơ của nó. Bề mặt của nó trơ với hầu hết các tác nhân làm sạch và xử lý khí được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn. Do đó, nó sẽ vẫn không bị ô nhiễm và không góp phần làm ô nhiễm bề mặt wafer. Sự trơ hóa hóa học này là chìa khóa để đạt được các điều kiện sản xuất siêu sạch và cung cấp hiệu suất thiết bị nhất quán.

Alumina gốmcũng là một lựa chọn giá cả phải chăng cho dụng cụ bán dẫn. Nó có sẵn như một nguyên liệu thô và các quá trình gia công của gốm alumina được hiểu rõ và dễ dàng mở rộng. Điều này cho phép dung sai có thể tái tạo và nhất quán cho các bộ phận chất lượng cao được sản xuất với giá cạnh tranh. Sự kết hợp giữa hiệu suất và khả năng chi trả làm cho cánh tay alumina trở nên lý tưởng cho FAB của OEM và chất bán dẫn, nơi bạn yêu cầu các thành phần tự động hóa đáng tin cậy không phá vỡ ngân hàng.

Tóm lại, ALUMINA ROBOT ARM cung cấp hiệu suất cơ học cao, hiệu suất điện môi cao, điện trở cao, hiệu suất hóa học cao, tất cả đều có khả năng sản xuất đã được chứng minh với giá kinh tế. Nói chung, các đặc điểm hiệu suất này làm cho nó đáng tin cậy và hiệu quả đối với các ứng dụng xử lý wafer chính xác trong sản xuất chất bán dẫn, cho phép cải thiện năng suất, có khả năng giảm rủi ro ô nhiễm và cải thiện hiệu quả thiết bị tổng thể.