Các tấm cơ sở gắn alumina

Các tấm cơ sở gắn alumina bán alumina là các sản phẩm gốm có độ tinh khiết cao được thiết kế dưới dạng cơ sở bền và ổn định để gắn các mâm cặp công việc trong thiết bị chế tạo bán dẫn. Các tấm này cung cấp hỗ trợ và căn chỉnh cơ học quan trọng cho các hoạt động xử lý wafer như in thạch bản, khắc, lắng đọng và kiểm tra. Điều cần thiết là phải căn chỉnh chính xác Chuck công việc với các thành phần hệ thống khác để đảm bảo rằng việc xử lý wafer có thể xảy ra với độ trung thực cần thiết. Các tấm được sản xuất thông qua các kỹ thuật xử lý cụ thể cho gốm sứ để đạt được độ phẳng cần thiết, độ bền nhiệt độ cao và độ tin cậy lâu dài để đáp ứng các yêu cầu khắc nghiệt của chế tạo bán dẫn hiện đại trong cả môi trường quy trình và phòng sạch.

Các tấm cơ sở lắp bán alumina được làm từ độ tinh khiết caoAluminaCó mức độ tinh khiết ≧ 99,5% (điển hình). Một alumina có độ tinh khiết cao có tính chất cơ học và nhiệt tốt cũng như độ cứng. Alumina có độ tinh khiết cao có các đặc tính cách điện vốn có tuyệt vời cũng cho phép các tấm này được sử dụng trong các ứng dụng chân không và điện áp cao trong đó nhiễu điện có thể là một vấn đề. Alumina sẽ có khả năng chống đạp xe nhiệt, cho phép các tấm duy trì độ chính xác kích thước tốt hơn so với hầu hết các vật liệu và có lợi cho việc duy trì sự liên kết hoặc ổn định cấu trúc do giảm sự giãn nở nhiệt. Yếu tố này rất quan trọng trong việc đảm bảo khả năng lặp lại của Chuck và dung sai quy trình ngầm, trong khi hoạt động qua các chu kỳ sản xuất mở rộng.

Trong các hệ thống xử lý bán dẫn, một tấm đế lắp không chỉ đơn giản là một thiết bị để buộc chặt cơ học. Nó là phương tiện tiếp xúc nhiệt giữa mâm cặp và phần còn lại của thiết bị và rất quan trọng cho sự phân tán nhiệt, tính toàn vẹn cấu trúc và cách ly rung. Các hành động xử lý như (nhưng không giới hạn) CVD, PVD hoặc cấy ghép ion, trong đó nhiệt độ cao và áp suất chân không là phổ biến, đòi hỏi một cơ sở gắn phải kháng nhiệt, trơ hóa hóa học & chống lại, âm thanh cơ học và chống sốc nhiệt. Sự trơ hóa học là rất quan trọng vì gắn kết phải tương thích với các khí phản ứng, cũng như các hóa chất làm sạch, kéo dài tuổi thọ hữu ích của gắn kết và ngăn ngừa ô nhiễm.

Mỗi tấm cơ sở gắn alumina được thực hiện bởi semicorex được gia công cho các dung sai được yêu cầu bởi các OEM bán dẫn và các bộ tích hợp thiết bị. Các tấm được gia công cho dung sai chặt chẽ cho độ dày, biến đổi chiều cao và độ phẳng để đảm bảo độ ổn định và độ lặp lại tối đa. Các tấm lắp này có thể được thực hiện với các lỗ lắp, khe hoặc các thông tin về thông số kỹ thuật của khách hàng để phù hợp hơn với các mâm cặp công việc, giai đoạn cơ học hoặc thiết bị khác. Gốm alumina được xử lý bằng cách sử dụng các kỹ thuật thiêu kết và mài chính xác hiện đại để tối ưu hóa cấu trúc vi mô và chất lượng bề mặt đồng đều để đảm bảo tiếp xúc nhiệt và căn chỉnh nhiệt nhất định để sử dụng theo thời gian.

Các tấm cơ sở gắn alumina bán alumina được sử dụng trong nhiều ứng dụng bao gồm trình xử lý wafer, hệ thống chuyển robot, lắp ráp Chuck chân không và các giai đoạn đo lường. Độ tin cậy và độ bền này trong nhiều tình huống quy trình đòi hỏi khắt khe, khiến chúng trở thành sản phẩm được lựa chọn với các nhà sản xuất công cụ đang tìm kiếm các thành phần gốm mạnh mẽ, lâu dài, bảo trì thấp. Nhóm kỹ thuật của chúng tôi hợp tác với khách hàng để cung cấp các giải pháp độc đáo được chỉ định cho mỗi tấm để tối đa hóa hiệu quả sản xuất trong chất bán dẫn.

Các tấm cơ sở gắn alumina không chỉ là một hỗ trợ cơ học; Nó là một thành phần quan trọng trong kỹ thuật chính xác trong ngành công nghiệp bán dẫn. Với sự ổn định cơ học, độ tinh khiết và cấu hình tuyệt vời, chúng đảm bảo sự liên kết chính xác, tuổi thọ dài và hoạt động đáng tin cậy trong một loạt các công cụ xử lý. Đối với các tấm cơ sở gắn hiệu suất cao, đáp ứng những kỳ vọng cao của các nhà sản xuất chất bán dẫn ngày nay, Trust Semicorex.