Bộ hiệu ứng cuối Alumina

Semicorex Alumina End Effector đã nổi lên như một công cụ không thể thiếu trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi khắt khe, nơi mà ngay cả những khiếm khuyết cực nhỏ cũng có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị, vai trò của việc xử lý tấm bán dẫn chính xác là không thể phủ nhận. Alumina End Effector cung cấp sự kết hợp độc đáo giữa độ chính xác, độ tinh khiết và độ bền cần thiết để xử lý các tấm silicon mỏng manh trong nhiều quy trình chế tạo khác nhau.**

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Việc lựa chọn vật liệu cho Semicorex Alumina End Effector được thúc đẩy bởi sự phù hợp độc đáo của gốm alumina có độ tinh khiết cao đối với các môi trường khắc nghiệt gặp phải trong chế tạo chất bán dẫn:

Độ tinh khiết vượt trội để kiểm soát ô nhiễm: Alumina End Effector, sử dụng gốm alumina có độ tinh khiết cao làm chất nền, được đặc trưng bởi hàm lượng tạp chất cực thấp, đảm bảo nó sẽ không tạo ra các chất gây ô nhiễm có thể làm ảnh hưởng đến tính chất điện hoặc hiệu suất của các thiết bị bán dẫn nhạy cảm.

Độ ổn định nhiệt độ cao cho tính linh hoạt của quy trình:Alumina End Effector thể hiện độ ổn định nhiệt tuyệt vời, duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc và độ chính xác về kích thước ngay cả ở nhiệt độ cao gặp phải trong các quá trình như oxy hóa nhiệt, khuếch tán và lắng đọng hơi hóa học.

Độ trơ hóa học cho môi trường khắc nghiệt:Khả năng kháng hóa chất vốn có của Alumina End Effector khiến nó không thấm vào nhiều loại axit, bazơ và dung môi thường được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn. Tính trơ này ngăn ngừa sự ăn mòn hoặc xuống cấp của bộ phận tác động cuối, đảm bảo hiệu suất lâu dài của nó và giảm thiểu nguy cơ ô nhiễm hạt.

Đặc tính cơ học mạnh mẽ cho tuổi thọ kéo dài:Gốm Alumina được biết đến với độ cứng, khả năng chống mài mòn và khả năng chịu được các chu kỳ xử lý và làm sạch lặp đi lặp lại mà không bị suy giảm. Sự mạnh mẽ này giúp kéo dài tuổi thọ sử dụng cho Alumina End Effector, giảm chi phí thay thế và thời gian ngừng hoạt động.

Độ chính xác, độ tinh khiết và độ bền của Alumina End Effector đã khiến nó trở thành thành phần thiết yếu trong một loạt quy trình sản xuất chất bán dẫn quan trọng:

Quang khắc:Việc căn chỉnh và sắp xếp các tấm bán dẫn chính xác là điều tối quan trọng trong kỹ thuật quang khắc, trong đó ngay cả những sai lệch nhỏ cũng có thể dẫn đến lỗi căn chỉnh sai và hỏng thiết bị. Alumina End Effector cung cấp độ chính xác và ổn định cần thiết cho bước quy trình quan trọng này.

Làm phẳng cơ học hóa học (CMP):Khả năng chịu được các chất bùn mạnh về mặt hóa học và lực cơ học liên quan đến CMP làm cho Alumina End Effector trở nên lý tưởng để xử lý các tấm bán dẫn trong quá trình quan trọng này, giúp làm phẳng bề mặt tấm bán dẫn cho các lớp tiếp theo.

Kiểm tra và đo lường wafer:Bản chất không gây ô nhiễm và không gây hư hại của Alumina End Effector khiến nó trở nên lý tưởng để xử lý các tấm bán dẫn trong quá trình kiểm tra và đo lường, đảm bảo các phép đo chính xác và giảm thiểu nguy cơ gây ra khuyết tật.