Chuck chân không gốm Alumina

Đầu kẹp chân không gốm Semicorex Alumina đóng một vai trò thiết yếu trong các giai đoạn làm mỏng và mài wafer của sản xuất chất bán dẫn. Các giai đoạn này liên quan đến việc giảm tỉ mỉ độ dày đế bán dẫn để tăng cường khả năng tản nhiệt của chip, điều này rất quan trọng để cải thiện hiệu suất và tuổi thọ của các thiết bị bán dẫn. Việc làm mỏng tấm bán dẫn theo thông số kỹ thuật chính xác cũng rất quan trọng để tạo điều kiện thuận lợi cho các kỹ thuật đóng gói tiên tiến.

Khả năng tương thích với nhiều kích cỡ wafer

Mâm cặp chân không bằng gốm Alumina được thiết kế để hỗ trợ nhiều kích cỡ wafer, bao gồm 2, 3, 4, 5, 6, 8 và 12 inch. Khả năng thích ứng này giúp nó phù hợp với nhiều môi trường sản xuất chất bán dẫn, đảm bảo hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trên các kích thước tấm bán dẫn khác nhau.

Thành phần vật liệu cao cấp

Đế của Mâm cặp chân không bằng gốm Alumina được chế tạo từ Alumina 99,99% siêu tinh khiết (Al2O3), mang lại khả năng chống lại các cuộc tấn công hóa học và ổn định nhiệt đặc biệt. Bề mặt hấp phụ được làm bằng cacbua silic xốp (SiC). Cấu trúc nhỏ gọn và đồng nhất của vật liệu gốm xốp giúp tăng cường độ bền và hiệu suất của nó.

Lợi ích của công nghệ gốm xốp siêu nhỏ

Độ phẳng và tính song song được nâng cao: Mâm cặp chân không bằng gốm Alumina siêu xốp mang lại độ phẳng và độ song song đặc biệt, đảm bảo xử lý wafer chính xác và ổn định.

Độ xốp và khả năng thở tối ưu: Các lỗ siêu nhỏ được phân bổ tốt mang lại khả năng thấm khí vượt trội và lực hấp phụ đồng đều, giúp vận hành trơn tru và nhất quán.

Độ tinh khiết và độ bền của vật liệu: Được làm từ Alumina nguyên chất 99,99%, Kẹp chân không bằng gốm Alumina của chúng tôi có khả năng chống lại các cuộc tấn công hóa học và mang lại độ ổn định nhiệt vượt trội, khiến nó phù hợp với các môi trường sản xuất đòi hỏi khắt khe.

Thiết kế có thể tùy chỉnh: Chúng tôi cung cấp nhiều hình dạng có thể tùy chỉnh, bao gồm thiết kế hình tròn, hình vuông, hình vòng và hình chữ L, với các tùy chọn độ dày từ 3MM đến 10MM. Việc tùy chỉnh này đảm bảo rằng Bộ kẹp chân không bằng gốm Alumina của chúng tôi đáp ứng các nhu cầu cụ thể của các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác nhau.

Tùy chọn vật liệu cơ bản đa dạng: Dựa trên các yêu cầu về độ phẳng và chi phí sản xuất, chúng tôi đưa ra đề xuất cho các vật liệu cơ bản khác nhau, chẳng hạn như thép không gỉ SUS430, Hợp kim nhôm 6061, gốm Alumina dày đặc (màu ngà), đá granit và gốm cacbua silic dày đặc. Mỗi vật liệu được chọn để tối ưu hóa trọng lượng và hiệu suất của Kẹp chân không bằng gốm Alumina.