Alumina gốm kết thúc

Effector kết thúc gốm Semicorex Alumina là một công cụ thiết yếu trong các hệ thống chuyển wafer tự động, cung cấp độ bền cơ học chưa từng có, độ ổn định nhiệt và kháng hóa chất. Được sản xuất bằng cách sử dụng độ tinh khiết caoalumina (al₂o₃) gốm, Effector cuối này được thiết kế để đáp ứng các nhu cầu nghiêm ngặt của môi trường xử lý wafer, trong đó độ chính xác, độ sạch và độ bền là tối quan trọng.

Cánh tay robot bán dẫn là một trong những phần quan trọng của thiết bị bán dẫn. Chúng thường bao gồm các bộ điều khiển, trình điều khiển, cánh tay và hiệu ứng cuối. Chúng được đặc trưng bởi độ sạch cao, độ ổn định cao, độ chính xác cao, hiệu quả cao và độ tin cậy cao. Các robot bán dẫn chủ yếu được sử dụng trong quá trình sản xuất bán dẫn trước để thực hiện, vận chuyển và định vị các tấm bán dẫn.

Cấu trúc gốm có hàm lượng alumina thường lớn hơn 99,5% sẽ cung cấp độ cứng vượt trội và khả năng chống mài mòn cho các chuyển động lặp đi lặp lại trong môi trường chính xác cao mà không bị suy giảm theo thời gian. Độ dẫn nhiệt cao và sự giãn nở nhiệt thấp của alumina cho phép ổn định kích thước trong môi trường có nhiệt độ cao, cần thiết trong hầu hết các hoạt động phòng sạch trong các chất bán dẫn, như trong Etcher, gửi, kiểm tra hoặc công cụ làm sạch.

CácAlumina gốmEffector cuối có một kết thúc bề mặt đặc trưng đáng chú ý, mịn và có độ xốp thấp, làm cho nó gần các hạt bằng không được tạo ra và giảm thiểu hoặc không có hiệu quả đối với các chất gây ô nhiễm trong quá trình xử lý wafer. Ngoài ra, alumina là trơ hóa học. Điều này có nghĩa là nó sẽ không phản ứng với bất kỳ loại khí nào trong quá trình và bất kỳ chất lỏng nào quá trình mà wafer tiếp xúc. Điều này bảo vệ wafer và bất kỳ ô nhiễm nào cho chính nó và thiết bị khỏi bất cứ thứ gì có thể gây ra ăn mòn.

Chúng thường được sử dụng làm tác nhân cuối cùng, hoặc một cơ chế kẹp, cho cánh tay robot hoặc các mô -đun chuyển trong thiết bị chế tạo wafer và thiết bị như etcher hoặc công cụ gửi, kiểm tra hoặc làm sạch dụng cụ với các khe chính xác, rãnh, hoặc các kênh chân. Các hiệu ứng cuối thường sẽ xử lý tốc độ chuyển wafer ở tốc độ 25 cm/giây.

Tùy chọn tùy chỉnh tồn tại dọc theo các dòng được thiết kế cho các giao diện thiết bị cụ thể hoặc kích thước wafer. Độ cứng cấu trúc của alumina cho phép các cấu hình mỏng và nhẹ nhằm giảm thiểu khối lượng tổng thể của hệ thống xử lý và dẫn đến thời gian phản ứng nhanh hơn. Một số cấu hình cũng có thể thêm các thành phần chống tĩnh điện hoặc cách điện để cung cấp bảo vệ bổ sung cho các chất nền điện tử nhạy cảm.

Nhìn chung, tác nhân cuối gốm alumina cung cấp một giải pháp hiệu quả nhằm thúc đẩy năng suất được cải thiện và giảm ô nhiễm, trong đó độ tin cậy hoạt động là các yếu tố chính cho dòng xử lý wafer. Với độ bền và đặc điểm hiệu suất vật lý của nó, tác nhân kết thúc gốm alumina hiệu quả và hiệu quả của nó là một lựa chọn phổ biến giữa các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn và FAB đòi hỏi các tiêu chuẩn sản xuất nghiêm ngặt trong môi trường siêu sạch.