Cánh tay robot Alumina Bernoulli

​Cánh tay robot chủ yếu được áp dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn đầu cuối như quang khắc và khắc axit, trong đó chúng tham gia trực tiếp vào việc xử lý, chuyển giao và định vị các tấm bán dẫn. Dấu chấm phẩynhômCánh tay robot Bernoulli là bộ phận tác động cuối bằng gốm có khả năng hấp phụ và truyền wafer dựa trên nguyên lý Bernoulli, mang lại hiệu suất vượt trội về độ sạch, độ ổn định, độ chính xác, hiệu quả và độ tin cậy.

Hấp phụ không tiếp xúc

Cánh tay robot Semicorex alumina Bernoulli có thể đạt được sự hấp phụ không tiếp xúc ổn định và chắc chắn đối với các tấm bán dẫn bằng cách sử dụng hệ thống luồng không khí và cấu hình được thiết kế đặc biệt của chúng. Phương pháp vận hành không tiếp xúc này có thể tránh tiếp xúc trực tiếp với các tấm bán dẫn và ngăn ngừa đáng kể sự nhiễm bẩn hoặc hư hỏng của tấm bán dẫn do tiếp xúc vật lý, điều này đặc biệt phù hợp với điều kiện làm việc siêu sạch và chuyển giao tấm bán dẫn tinh vi.

Hiệu suất vật lý và hóa học đáng tin cậy

Gốm Alumina có độ cứng và độ bền tuyệt vời, khiến Semicorex alumina Bernoullicánh tay robotrất thích hợp để xử lý lâu dài các tấm bán dẫn mà không bị biến dạng và hư hỏng.

Cánh tay robot Semicorex alumina Bernoulli cũng mang lại khả năng chống ăn mòn hóa học đáng tin cậy và có thể chịu được các loại khí ăn mòn và môi trường vận hành plasma đầy thử thách, cho thấy độ bền không đổi trong thời gian dài.

Kiểm soát vệ sinh nghiêm ngặt

Cánh tay robot Semicorex alumina Bernoulli được sản xuất từ ​​bột alumina có độ tinh khiết cao thông qua quá trình ép đẳng tĩnh chính xác và thiêu kết ở nhiệt độ cao. Phương pháp lựa chọn và xử lý vật liệu chính xác này cho phép cánh tay robot Semicorex alumina Bernoulli có cấu trúc gốm tinh khiết và dày đặc. Điều này làm giảm đáng kể nguy cơ ô nhiễm tấm bán dẫn do các tạp chất không mong muốn từ điều kiện vận hành.

Kiểm soát độ chính xác vượt trội

Được hoàn thiện bằng quá trình mài và đánh bóng chính xác, cánh tay robot Semicorex alumina Bernoulli mang lại độ chính xác về chiều đặc biệt và độ phẳng bề mặt vượt trội, khiến chúng rất phù hợp cho hoạt động sản xuất chất bán dẫn tự động có độ chính xác cao. Ngoài ra, cánh tay robot Semicorex alumina Bernoulli có độ ổn định nhiệt tuyệt vời ngay cả khi chúng tiếp xúc với môi trường có biến động nhiệt độ nghiêm trọng, chúng có thể duy trì độ chính xác xử lý và định vị lặp đi lặp lại tuyệt vời.