Mâm cặp chân không Al2O3

Ứng dụng trong sản xuất chất bán dẫn

Đầu kẹp chân không Semicorex Al2O3 là một công cụ linh hoạt được sử dụng trong nhiều giai đoạn sản xuất chất bán dẫn:

Làm mỏng: Trong quá trình làm mỏng tấm wafer, Kẹp chân không Al2O3 cung cấp sự hỗ trợ ổn định và đồng đều, đảm bảo giảm chất nền có độ chính xác cao. Điều này rất quan trọng để cải thiện khả năng tản nhiệt của chip và nâng cao hiệu suất thiết bị.

Cắt hạt: Trong giai đoạn thái hạt lựu, trong đó các tấm bán dẫn được cắt thành từng chip riêng lẻ, Đầu kẹp chân không Al2O3 cung cấp khả năng hấp phụ an toàn và ổn định, giảm thiểu nguy cơ hư hỏng và đảm bảo các vết cắt sạch sẽ.

Làm sạch: Bề mặt hấp phụ mịn và đồng đều của Kẹp chân không Al2O3 giúp nó phù hợp với các quy trình làm sạch tấm bán dẫn, đảm bảo các chất gây ô nhiễm được loại bỏ một cách hiệu quả mà không làm hỏng tấm bán dẫn.

Vận chuyển: Trong quá trình xử lý và vận chuyển wafer, Kẹp chân không Al2O3 cung cấp sự hỗ trợ đáng tin cậy và an toàn, giảm nguy cơ hư hỏng và ô nhiễm.

Dấu chấm phẩychân khôngDòng chảy Chuck

Ưu điểm của mâm cặp chân không Semicorex Al2O3

1. Công nghệ gốm xốp siêu nhỏ đồng nhất

Mâm cặp chân không Al2O3 được chế tạo bằng công nghệ gốm xốp siêu nhỏ, bao gồm việc sử dụng các loại bột nano có kích thước đồng đều. Công nghệ này đảm bảo các lỗ chân lông được phân bố đều và liên kết với nhau, mang lại độ xốp cao và cấu trúc dày đặc đồng đều. Tính đồng nhất này nâng cao hiệu suất của mâm cặp chân không, cung cấp khả năng hỗ trợ tấm bán dẫn nhất quán và đáng tin cậy.

2. Thuộc tính vật liệu đặc biệt

Alumina 99,99% siêu tinh khiết (Al2O3) được sử dụng trong Bộ kẹp chân không Al2O3 cung cấp một loạt các đặc tính đặc biệt:

Đặc tính nhiệt: Với khả năng chịu nhiệt cao và độ dẫn nhiệt tuyệt vời, Kẹp chân không Al2O3 có thể chịu được nhiệt độ cao thường gặp trong sản xuất chất bán dẫn.

Đặc tính cơ học: Độ bền và độ cứng cao của Alumina đảm bảo rằng Kẹp chân không Al2O3 bền và chống mài mòn, mang lại hiệu suất lâu dài.

Các đặc tính khác: Alumina cũng có khả năng cách điện và chống ăn mòn cao, giúp Đầu kẹp chân không Al2O3 phù hợp với nhiều môi trường sản xuất.

3. Độ phẳng và tính song song vượt trội

Một trong những ưu điểm chính của Kẹp chân không Al2O3 là độ phẳng và độ song song cao. Những đặc tính này rất quan trọng để đảm bảo xử lý tấm bán dẫn chính xác và ổn định, giảm thiểu nguy cơ hư hỏng và đảm bảo kết quả xử lý nhất quán. Ngoài ra, khả năng thoáng khí tốt và lực hấp phụ đồng đều của Kẹp chân không Al2O3 đảm bảo hoạt động trơn tru và đáng tin cậy.

4. Tùy chọn tùy chỉnh

Tại Semicorex, chúng tôi hiểu rằng mỗi quy trình sản xuất chất bán dẫn đều có những yêu cầu riêng. Đó là lý do tại sao chúng tôi cung cấp Đầu cặp chân không tùy chỉnh phù hợp để đáp ứng nhu cầu cụ thể của bạn. Tùy thuộc vào độ phẳng cần thiết và chi phí sản xuất, chúng tôi đề xuất các vật liệu cơ bản khác nhau, đảm bảo rằng trọng lượng và hiệu suất của mâm cặp chân không được tối ưu hóa cho ứng dụng của bạn. Những vật liệu này bao gồm thép không gỉ SUS430, Hợp kim nhôm 6061, gốm Alumina dày đặc (màu ngà), đá granit và gốm cacbua silic dày đặc.

Đo CMM chân không Al2O3