Tấm chất mang RTP phủ Semicorex SiC cho Tăng trưởng Epitaxy là giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý tấm bán dẫn mỏng. Với chất nhạy carbon graphite chất lượng cao và chén nung thạch anh được MOCVD xử lý trên bề mặt graphite, gốm sứ, v.v., sản phẩm này rất lý tưởng để xử lý wafer và xử lý tăng trưởng epiticular. Chất mang được phủ SiC đảm bảo tính dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành lựa chọn đáng tin cậy cho RTA, RTP hoặc làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.
Đọc thêmGửi yêu cầu