Vòng lấy nét hay còn gọi là vòng bù hoặc vòng giam cầm là thành phần không thể thiếu của thiết bị khắc, đặc biệt là thiết bị khắc khô plasma. Các quy trình khắc chính xác ở cấp độ nano trong sản xuất chất bán dẫn hiện đại sẽ không thể đạt được nếu không có nó. Việc sử dụng vòng lấy nét đảm bảo tính ......
Đọc thêmBằng cách điều chỉnh chính xác các cấu hình làm nóng và làm mát, quá trình ủ có thể kích hoạt các nguyên tử tạp chất, sửa chữa hư hỏng mạng tinh thể, giảm căng thẳng bên trong và cải thiện độ tin cậy về điện của tấm bán dẫn. Những cải tiến hiệu suất quan trọng này tạo nền tảng vững chắc cho quá trìn......
Đọc thêmMâm cặp chân không bằng gốm là công cụ dùng để kẹp và vận chuyển các tấm bán dẫn trong sản xuất tấm bán dẫn. Chúng có độ phẳng và độ song song cao, cấu trúc dày đặc và đồng đều, độ bền cao, độ thoáng khí tốt, lực hấp phụ đồng đều và dễ cắt tỉa. Chúng thích hợp cho các quy trình như làm mỏng, cắt, mà......
Đọc thêmMục tiêu cốt lõi là đạt được độ đồng đều về nhiệt độ bề mặt wafer (≤±0,5–5oC) và độ ổn định của trường nhiệt độ/dòng chảy, từ đó cải thiện độ đồng đều của độ dày lớp epiticular (<3%), doping uniformity (<8%), reducing defect density, and increasing growth rate (>60 m/giờ).
Đọc thêmVật liệu tổng hợp C/C sở hữu nhiều đặc tính tuyệt vời và hiện là vật liệu composite duy nhất có khả năng hoạt động ở nhiệt độ cao trên 2600°C trong môi trường trơ, khiến chúng được ứng dụng rộng rãi trong ngành hàng không vũ trụ, vũ khí, năng lượng hạt nhân, luyện kim và hóa chất.
Đọc thêmLà vật liệu nền không thể thiếu trong ngành công nghiệp bán dẫn tiên tiến, tấm silicon cacbua thể hiện các đặc tính nhiệt và điện tuyệt vời, có triển vọng ứng dụng rộng rãi trong các thiết bị điện tử tích hợp nhiệt độ cao, tần số cao, công suất cao và chống bức xạ.
Đọc thêm