Sản xuất chất bán dẫn, nền tảng của tiến bộ công nghệ hiện đại, không ngừng theo đuổi các mạch tích hợp nhỏ hơn, nhanh hơn và hiệu quả hơn. Sự theo đuổi không ngừng nghỉ này thúc đẩy nhu cầu về các quy trình sản xuất ngày càng chính xác và phức tạp, trong đó mỗi bước phụ thuộc rất nhiều vào thiết bị......
Đọc thêmMâm cặp tĩnh điện (ESC) đã trở nên không thể thiếu trong sản xuất chất bán dẫn và sản xuất màn hình phẳng, cung cấp một phương pháp không gây hư hại, có khả năng kiểm soát cao để giữ và định vị các tấm bán dẫn và chất nền mỏng manh trong các bước xử lý quan trọng. Bài viết này đi sâu vào sự phức tạp......
Đọc thêmSự phát triển của 3C-SiC, một dạng polytype quan trọng của cacbua silic, phản ánh sự tiến bộ không ngừng của khoa học vật liệu bán dẫn. Vào những năm 1980, Nishino và cộng sự. lần đầu tiên đạt được màng 3C-SiC dày 4 μm trên đế silicon bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD)[1], đặt nền móng cho......
Đọc thêm