SOI, viết tắt của Silicon-On-Insulator, là một quy trình sản xuất chất bán dẫn dựa trên vật liệu nền đặc biệt. Kể từ khi công nghiệp hóa vào những năm 1980, công nghệ này đã trở thành một nhánh quan trọng của quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến. Được phân biệt bởi cấu trúc hỗn hợp ba lớp độc ......
Đọc thêmChuck tĩnh điện đảm nhận nhiều chức năng như phóng tĩnh điện đồng đều, dẫn nhiệt, hấp phụ và cố định tấm bán dẫn trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn. Một trong những chức năng cốt lõi của ESC là hấp thụ ổn định các tấm bán dẫn trong các điều kiện vận hành khắc nghiệt như chân không cao, plasma mạnh......
Đọc thêmTrong sản xuất tấm wafer có độ tinh khiết cực cao, tấm wafer phải đạt tiêu chuẩn độ tinh khiết trên 99,999999999% để đảm bảo các tính chất cơ bản của chất bán dẫn. Nghịch lý thay, để đạt được cấu trúc chức năng của các mạch tích hợp, các tạp chất cụ thể phải được đưa cục bộ lên bề mặt tấm bán dẫn th......
Đọc thêmMâm cặp chân không bằng gốm được làm bằng vật liệu gốm xốp có kích thước lỗ phân bố đồng đều và kết nối bên trong. Sau khi mài, bề mặt mịn và tinh tế với độ phẳng tốt. Chúng được sử dụng rộng rãi trong sản xuất các tấm bán dẫn như silicon, sapphire và gallium arsenide.
Đọc thêmViệc lựa chọn wafer có tác động đáng kể đến việc phát triển và sản xuất các thiết bị bán dẫn. Việc lựa chọn wafer phải được hướng dẫn theo yêu cầu của các tình huống ứng dụng cụ thể và cần được đánh giá cẩn thận bằng cách sử dụng các số liệu quan trọng sau.
Đọc thêmThiết bị khắc khô không sử dụng hóa chất ướt để khắc. Nó chủ yếu đưa chất ăn mòn dạng khí vào buồng thông qua một điện cực phía trên có các lỗ xuyên nhỏ. Điện trường được tạo ra bởi các điện cực trên và dưới làm ion hóa chất ăn mòn dạng khí, sau đó phản ứng với vật liệu được ăn mòn trên tấm bán dẫn,......
Đọc thêm