Sự khác biệt về cấu trúc giữa các loại lò phản ứng khác nhau

Dựa trên cấu hình buồng phản ứng, thiết bị xử lý nhiệt (thiết bị ống lò) chủ yếu được chia thành ba loại: ống lò đứng, ống lò ngang và lò xử lý nhiệt nhanh (RTP).

Các ống lò thẳng đứng có các ống thạch anh được sắp xếp theo chiều dọc, với các tấm wafer đặt xung quanh các ống để gia nhiệt. Ưu điểm chính của chúng là phân bố nhiệt độ đồng đều, kiểm soát không khí chính xác, tự động hóa cao, ít ô nhiễm hạt hơn, dấu chân nhỏ và hỗ trợ xử lý hàng loạt (đặc biệt phù hợp với các tấm wafer 12 inch), khiến chúng trở thành thiết bị phổ biến hiện nay. Quy mô thị trường toàn cầu đạt 3,2 tỷ USD vào năm 2024 (dữ liệu SEMI). Nhược điểm của chúng bao gồm việc tách khí-lỏng dễ dàng và dòng chảy xuống của môi trường có khả năng khiến ống lò bị cháy.

Các ống lò nằm ngang có các ống thạch anh đặt nằm ngang, xử lý 100-200 tấm bán dẫn cùng một lúc. Ưu điểm của chúng bao gồm dòng khí-lỏng đồng đều trong ống lò và kiểm soát nhiệt độ chính xác hơn. Nhược điểm của chúng bao gồm diện tích lớn hơn và tiêu thụ nhiều hơn các giá đỡ ống trung gian bằng thép hợp kim cao. Về mặt cấu trúc, các ống lò nằm ngang đặt các tấm bán dẫn theo chiều dọc trong các ống nằm ngang để xử lý.

Lò ủ nhiệt nhanh (RTP) sử dụng đèn hồng ngoại halogen để làm nóng nhanh các tấm bán dẫn đơn lẻ, mang lại tốc độ làm nóng và làm mát nhanh, chỉ thay đổi nhiệt độ của tấm bán dẫn mà không làm thay đổi nhiệt độ buồng. Chúng thích hợp cho việc ủ nhanh hàng loạt nhỏ nhưng không phù hợp cho sản xuất hàng loạt.

Trong quá trình xử lý tấm bán dẫn, các ống lò nằm ngang đặt tấm bán dẫn lên một thuyền thạch anh, sau đó đặt trên khung đỡ bằng cacbua silic (SiC). Sau đó, khung đỡ được đẩy vào ống lò thạch anh, nơi tấm bán dẫn trải qua phản ứng trong vùng nhiệt độ không đổi. Mặt khác, các ống lò thẳng đứng đặt tấm bán dẫn lên tháp thạch anh và từ từ nâng nó vào ống lò thạch anh để xử lý. Sau phản ứng, tấm wafer được hạ xuống từ từ để tránh bị cong hoặc gãy.

Semicorex cung cấp các sản phẩm tùy chỉnh chất lượng caolò phản ứng lò thạch anh. Sản phẩm của chúng tôi được thiết kế để mang lại độ ổn định nhiệt vượt trội, tuổi thọ kéo dài và tính nhất quán của quy trình đặc biệt. Để biết các giải pháp tùy chỉnh hoặc thông tin kỹ thuật bổ sung, vui lòng liên hệ với nhóm kỹ thuật của chúng tôi.

Điện thoại: +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com