Quy trình ủ trong sản xuất chất bán dẫn hiện đại

Khi các nút công nghệ tiếp tục thu hẹp lại, việc hình thành các mối nối siêu nông đặt ra những thách thức đáng kể. Quá trình ủ nhiệt bao gồmỦ nhiệt nhanh (RTA)và ủ đèn flash (FLA) là những kỹ thuật quan trọng giúp duy trì tốc độ kích hoạt tạp chất cao đồng thời giảm thiểu sự khuếch tán, đảm bảo hiệu suất thiết bị tối ưu.

1. Hình thành mối nối siêu nông:

Khi các nút công nghệ thu hẹp lại, việc hình thành các mối nối siêu nông ngày càng khó khăn. Các kỹ thuật như ủ nhiệt nhanh (RTA) và ủ đèn flash (FLA) là rất quan trọng để đạt được tốc độ kích hoạt tạp chất cao đồng thời giảm thiểu sự khuếch tán, từ đó đảm bảo hiệu suất thiết bị tối ưu.

2. Sửa đổi điện môi cổng High-k:

Ủ sau lắng đọng (PDA) tăng cường đáng kể tính chất điện của chất điện môi cổng cao k. Quá trình này làm giảm dòng điện rò rỉ cổng và tăng hằng số điện môi, rất quan trọng đối với các thiết bị bộ nhớ và logic tiên tiến.

3. Sự hình thành silic kim loại:

Việc tối ưu hóa các silic kim loại, chẳng hạn như CoSi và NiSi, là điều cần thiết để cải thiện khả năng chống tiếp xúc và khối lượng lớn. Kiểm soát chính xác các điều kiện ủ tạo điều kiện thuận lợi cho việc tạo ra các pha hợp kim lý tưởng, nâng cao hiệu suất tổng thể của thiết bị.

4. Công nghệ tích hợp 3D:

Trong các công nghệ như 3D NAND và 3D DRAM, quy trình ủ phải được áp dụng trên nhiều lớp. Kỹ thuật nhiệt nhanh đóng vai trò quan trọng trong việc đảm bảo mỗi lớp đạt được hiệu suất tối ưu.

Ủ là rất quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, cho phép sửa chữa hư hỏng mạng, kích hoạt tạp chất, sửa đổi màng và hình thành silic kim loại thông qua việc kiểm soát chính xác nhiệt độ, thời gian và lượng nhiệt. Khi các nút công nghệ co lại, các phương pháp ủ tiên tiến nhưRTA, FLA và ủ tia laser đã trở thành xu hướng chủ đạo. Trong tương lai, quy trình ủ sẽ tiếp tục đổi mới để đáp ứng nhu cầu về vật liệu và thiết bị mới nổi.

Semicorex cung cấp dịch vụ dẫn đầu ngànhgiải pháp ủ, đảm bảo các thiết bị bán dẫn của bạn đáp ứng các tiêu chuẩn hiệu suất cao nhất với độ chính xác và độ tin cậy.

Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm chi tiết, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Số điện thoại liên hệ +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com